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微型压电超声马达定子表面振动特性分析

压电与声光 1998年第1期20卷 64-67,58页

作者：张健沈德新卢建国王渭源中国科学院上海冶金研究所传感技术国家重点实验室

微型压电超声马达定子表面的振动幅度是难以检测的动态微小量。定子振动状态将直接关系到压电马达的实现与否。首次分析了采用均分电极结构的微型压电超声行波马达的定子表面的振动振幅。通过对影响定子振幅相关因素的分析，表明要获得... 详细信息

微型压电超声马达定子表面的振动幅度是难以检测的动态微小量。定子振动状态将直接关系到压电马达的实现与否。首次分析了采用均分电极结构的微型压电超声行波马达的定子表面的振动振幅。通过对影响定子振幅相关因素的分析，表明要获得最佳的表面振动效果，压电薄膜与弹性体的厚度必须相匹配。

关键词：微型压电超声马达定子振动振幅匹配

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小如蚂蚁半导体传感器与微电子机械系统

采用混合结构定子的压电超声微电机的固有频率特性分析

丛书名：攀登计划普及丛及

1999年

作者：王渭源

本书深入浅出的介绍了国际上半导体传感器和微电子机械系统当前的发展水平。

ISBN: (数字)7535725252

ISBN: (纸本)7535725252

本书深入浅出的介绍了国际上半导体传感器和微电子机械系统当前的发展水平。

关键词：半导体传感器微电子技术集成制造系统

来源：汇雅图书（南通市图书馆... 评论

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汇雅图书（南通市图书馆）

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Journal of Semiconductors 1997年第3期18卷 212-217页

作者：张健沈德新王渭源中国科学院上海冶金所传感技术国家重点实验室上海200050

本文首次采用了Rayleigh－Ritz方法来分析微机械中经常采用的多层膜结构（混合结构）定子的固有振动特性．研究了平面内应力（in－planestress）和弯曲应力（flexuralstress）对固有频率的影响．模拟计算和实验结果符合得较好．此外还... 详细信息

本文首次采用了Rayleigh－Ritz方法来分析微机械中经常采用的多层膜结构（混合结构）定子的固有振动特性．研究了平面内应力（in－planestress）和弯曲应力（flexuralstress）对固有频率的影响．模拟计算和实验结果符合得较好．此外还讨论了定于有关参数对固有频率的影响．

关键词：半导体微电子机械学压电超声微电机固有频率

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薄型压电超声马达定子中旋转波形成机理初探

压电与声光 1997年第2期19卷 90-94页

作者：张健沈德新王渭源中国科学院上海冶金所传感技术国家重点实验室上海200050

详细分析了马达定子中旋转波(行波)的形成机理及其主要特征(包括动能、势能和角动量等),论述了定子-转子交界面粒子椭圆振动的形成,表明压电马达定子中的波不同于传统的驻波和行波,而是被人称之为第三种波——旋转波。同时,也预示了压... 详细信息

详细分析了马达定子中旋转波(行波)的形成机理及其主要特征(包括动能、势能和角动量等),论述了定子-转子交界面粒子椭圆振动的形成,表明压电马达定子中的波不同于传统的驻波和行波,而是被人称之为第三种波——旋转波。同时,也预示了压电定子中旋转波产生同电极设置和外界激励方式的关系。讨论了定子的固定方式。根据这一理论,研制出了由位相差为90°的双功率源驱动的压电旋转波马达,外加电压10 V时,马达的最高转速可达100 r/min。

关键词：压电效应二重简并模式旋转波压电超声马达

As^+、Si^+双注入GaAs瞬态退火的行为

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Journal of Semiconductors 1989年第3期10卷 230-232页

作者：范伟栋王渭源中国科学院上海冶金研究所

研究了不同能量、剂量As^+、Si^+双注入于SI GaAs中,As^+注入对注Ss^+有源层的影响.首次给出了双注入样品瞬态退火后有源层的激活率和载流子迁移率,退火前后材料的沟道谱.实验表明,As^+、Si^+双注入样品比Si^+单注入样品在较低退火温度... 详细信息

研究了不同能量、剂量As^+、Si^+双注入于SI GaAs中,As^+注入对注Ss^+有源层的影响.首次给出了双注入样品瞬态退火后有源层的激活率和载流子迁移率,退火前后材料的沟道谱.实验表明,As^+、Si^+双注入样品比Si^+单注入样品在较低退火温度下就能激活Si^+,在适当高温下能得到性能良好的有源层.

关键词：砷离子硅离子双注入瞬态退火

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小如蚂蚁

GaAs/AlGaAs量子阱中电子浓度的自洽计算

作者：王渭源

来源：南通市图书馆图书评论

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Journal of Semiconductors 1989年第5期10卷 350-355页

作者：杨悦非朱蔚雯王渭源中国科学院上海冶金研究所

应用波函数展开方法,自洽计算了调制掺杂AlGaAs/GaAs/AlGaAs量子阱中电势能分布、子能级位置、2DEG浓度分布和2DEG面浓度n_s,以及这些参数与量子阱宽度、不掺杂AlGaAs厚度等材料参数的关系.计算表明,量子阱中2DEG n_s比单异质结n_s大2... 详细信息

应用波函数展开方法,自洽计算了调制掺杂AlGaAs/GaAs/AlGaAs量子阱中电势能分布、子能级位置、2DEG浓度分布和2DEG面浓度n_s,以及这些参数与量子阱宽度、不掺杂AlGaAs厚度等材料参数的关系.计算表明,量子阱中2DEG n_s比单异质结n_s大2倍左右,量子阱宽度在200-300A之间n_s有个最大值;量子阱太宽时,2DEG主要集中在两边异质结界面附近,变为双异质结.

关键词：掺杂量子阱电子浓度砷化镓

CF_4、SF_6和NF_3反应离子腐蚀硅表面粗糙度的研究

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Journal of Semiconductors 1993年第6期14卷 375-380,T001,T002页

作者：苏毅谭淞生王渭源复旦大学物理系上海200433 中国科学院上海冶金研究所传感技术联合开放国家实验室上海200050

本文采用CF_4、SF_6和NF_3三种腐蚀气体对硅进行反应离子腐蚀,研究了腐蚀表面粗糙度与腐蚀工艺条件(气压、射频功率),附加气体和腐蚀深度等因素之间的关系。并通过SEM和Auger能谱仪分析,探讨了引起腐蚀表面粗糙的原因。

关键词：反应离子刻蚀腐蚀工艺表面粗糙率

用于微机械器件的Fe-Ni合金电镀沉积膜的性能

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金属学报 2000年第5期36卷 525-529页

作者：陈垚张轩雄熊幸果王渭源中国科学院上海冶金研究所上海200050

结合Ｓｉ体微机械技术和电镀技术加工出Ｆｅ－Ｎｉ／Ｃｕ／Ｓｉ复合悬臂梁，其中Ｆｅ－Ｎｉ膜厚３μｍ，Ｃｕ膜厚０．２μｍ．利用共振法首次测出在１．３Ｐａ气压下，复合悬臂梁中Ｆｅ－Ｎｉ（Ｆｅ６４，Ｎｉ３６；质量分数，％，下同... 详细信息

结合Ｓｉ体微机械技术和电镀技术加工出Ｆｅ－Ｎｉ／Ｃｕ／Ｓｉ复合悬臂梁，其中Ｆｅ－Ｎｉ膜厚３μｍ，Ｃｕ膜厚０．２μｍ．利用共振法首次测出在１．３Ｐａ气压下，复合悬臂梁中Ｆｅ－Ｎｉ（Ｆｅ６４，Ｎｉ３６；质量分数，％，下同）电镀沉积膜的内耗为１０－３．利用自行设计的微力／微位移天平法，测出Ｆｅ－Ｎｉ（Ｆｅ５７，Ｎｉ４３）／Ｃｕ／Ｓｉ复合悬臂梁的Ｙｏｕｎｇ’ｓ模量为１．０×１０１１Ｎ／ｍ２．Ｆｅ－Ｎｉ电镀沉积膜的内应力随膜中Ｆｅ含量的增加先是增大然后减小．在Ｉｎｖａｒ合金（Ｆｅ６４，Ｎｉ３６）成分附近达到最大约３００ＭＰａ．Ｆｅ－Ｎｉ电镀膜的热膨胀系数与膜中Ｆｅ含量关系则与内应力相反，但与合金体材料变化趋势一致，在Ｉｎｖａｒ合金成分附近达到最小，其值高于相应成分的合金体材料，约６×１０－６／℃。

关键词：微机械 Fe-Ni合金电镀沉积膜内应力热膨胀系数