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微机械技术正面临新突破(二)

仪表技术与传感器 1994年第1期 3-5页

作者：鲍敏杭复旦大学电子工程系

从今年的Transduser’93反映的情况来看,表面微机械技术已经走出了困境,正在出现新的突破。 1.扬长避短,开发出许多新应用表面微机械加工的器件已经在光、磁等领域找到了许多基本上不需要功率输出的新应用。美国的TI公司制成了数字化... 详细信息

从今年的Transduser’93反映的情况来看,表面微机械技术已经走出了困境,正在出现新的突破。 1.扬长避短,开发出许多新应用表面微机械加工的器件已经在光、磁等领域找到了许多基本上不需要功率输出的新应用。美国的TI公司制成了数字化微镜器件,它由768×576个表面微机械加工的反射镜陈列构成,已用于电视的显示系统,它显示的屏幕尺寸大12英尺。更大规模的2048×1152象素的器件正在研制中。

关键词：微机械微机械技术

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微机械技术正面临新突破(一)

仪表技术与传感器 1993年第6期 5-7页

作者：鲍敏杭复旦大学

本文从历史的角度总结了微机械技术的出现、发展的历程、它的发展动力和目前国际上竞相研究的概况。文章以1993年召开的第七届国际敏感器与执行器会议的报告为依据,介绍了微机械技术的最新进展与突破。

关键词：执行器微机械敏感器

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微机械加工技术发展概况(一)

仪表技术与传感器 1998年第5期 1-3页

作者：鲍敏杭复旦大学电子工程系传感技术国家实验室

本文总结介绍了近年来国内外微机械加工技术的新发展，并讨论了微机械技术进一步发展的要求和发展趋势。

关键词：微机械加工传感器执行器

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抗磁场干扰的横向电压型压力传感器

物理 1990年第5期19卷 315-316页

作者：鲍敏杭复旦大学电子工程系

压力传感器一般是指输出电信号(电压或电流)与被测流体压强成正比的电子器件.当前使用最广泛的压力传感器是利用半导体硅材料的压阻效应工作的硅压力传感器,它在工业自动化、医疗诊断、航空汽车等方面都有应用. 硅单晶是金刚石结构的晶... 详细信息

压力传感器一般是指输出电信号(电压或电流)与被测流体压强成正比的电子器件.当前使用最广泛的压力传感器是利用半导体硅材料的压阻效应工作的硅压力传感器,它在工业自动化、医疗诊断、航空汽车等方面都有应用. 硅单晶是金刚石结构的晶体.由于它具有高度的立方对称性,因而它的电阻率是各向同性的,晶体中的电流密度向量j和电场强度向量E的方向相同,大小成比例,即 E=式中ρ0为电阻率常数.但在硅晶体中因存在应力而产生形变时,晶体的立方对称性受到破坏,电流与电场之间就呈现出复杂的关系,一般可表示为式中Ex,Ey和Ez是电场在三个坐标方向的分量,jx,jy和jz是电流密度的三个分量.ρij是电阻率张量(二级张量)的分量.电阻率张量会因应力而变化,这种现象就是压阻效应. 从(2)式可以看到压阻效应的两种表现:其一是式中的Pxx,Pyy和Pzz反映了在坐标方向上的电阻率,应力使这些电阻率与ρ0有偏差,即应力可以引起电阻的变化,其变化量与应力大小有关;其二是(2)式中的交叉项P。,表示某一方向的电流可以引起与该方向垂直的横向电场分量.对于有一定宽度的电阻,横向电场可以积累成横向电压,在其它条件一定时,横向电压与晶体中应力的大小成比例.利...

关键词：压力传感器磁场干扰电压型力敏器件

敏感技术物理及应用专题系列(Ⅱ) 固态传感器

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物理 1990年第4期 221-225页

作者：鲍敏杭复旦大学电子工程系

大规模集成电路使人类社会进入了微电子化、自动化和信息化的新时代.这一时代的特点是信息处理能力极强的微型计算机普及应用.相比之下,作为信息采集手段的传感器就显得落后,很不适应.在客观需要的推动下,从70年代后期以来,在全世界范... 详细信息

大规模集成电路使人类社会进入了微电子化、自动化和信息化的新时代.这一时代的特点是信息处理能力极强的微型计算机普及应用.相比之下,作为信息采集手段的传感器就显得落后,很不适应.在客观需要的推动下,从70年代后期以来,在全世界范围内出现了发展传感器的热潮,这一热潮的主要特点就是研制各种以固体物性原理为基础的固态传感器(或称为物性型传感器),以与飞速发展的固态微电子技术相适应.这一发展阶段的历史还不长,但进展却十分惊人,各种新型的传感器已大量出现,它不仅提高了传统的结构型传感器在机械量等方面的测量水平,而且在物理量和化学量的测量方面也开拓了新的领域. 在固态传感器的研制中,人们利用固态材料的力、磁、热、光、电等方面的物理效应已经研制出品种繁多的传感器.物理知识,特别是固态物理学知识是发展传感器的珍贵知识宝库. 一、固态磁敏传感器1.吕耳传感器美国学者霍耳在1879年发现“’,当通电的矩形金属片置于与之垂直的磁场中时,金属中将出现与电流方向相垂直的电场,即在金属片的横向建立起与电流强度和与磁感应强度成比例的电压.这一起源于洛伦兹力的物理现象称为霍耳效应.显然,利用霍耳效应可以制成检测磁场的传感器.但是,由干金属中的...

关键词：固态传感器阻值电阻率固体材料电阻系数硅压力传感器压阻效应应变电阻