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微机械加工技术发展概况(二)

作     者：鲍敏杭 

作者机构：复旦大学电子工程系 

出 版 物：《仪表技术与传感器》 (Instrument Technique and Sensor)

年 卷 期：1998年第6期

页      面：1-2页

学科分类：08[工学] 0802[工学-机械工程] 

主　　题：微机械 微机械加工技术 表面平整化 

摘      要：微机械加工技术发展概况（二）鲍敏杭复旦大学电子工程系，传感技术国家实验室上海市２００２３３７表面平整化技术表面平整化技术是为大规模集成电路开发的一种工艺技术。它是利用化学机械抛光方法将因金属化加工而变得起伏的硅片表面变得平整，为进一步加工提供更好的...

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