直流电弧法回收ITO废靶技术研究
Arc Gasification Technology of Recycling ITO Waste Target作者机构：中国船舶重工集团公司第七二五研究所河南洛阳471023 昆明理工大学云南昆明650216
出 版 物：《材料开发与应用》 (Development and Application of Materials)
年 卷 期：2012年第27卷第2期
页 面：44-46页
学科分类：080603[工学-有色金属冶金] 08[工学] 0806[工学-冶金工程]
摘 要：本文提出一种新型的ITO废靶回收技术,采用直流电弧法将ITO废靶气化制成纳米ITO粉末,实现废靶的回收。借助XRD(X射线衍射)和TEM(透射电子显微镜)等技术对粉末进行表征,发现经回收制备的ITO粉末为单一的立方In2O3结构,颗粒多以四方和类球形两种形貌存在,粒度尺寸在5-200nm范围内。
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