低温溅射沉积TiN薄膜的实验研究
出 版 物：《薄膜科学与技术》
年 卷 期：1993年第6卷第2期
页 面：151-155页
学科分类：080903[工学-微电子学与固体电子学] 0809[工学-电子科学与技术（可授工学、理学学位）] 08[工学] 080501[工学-材料物理与化学] 0805[工学-材料科学与工程（可授工学、理学学位）] 080502[工学-材料学]
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