Φ200mm CZSi复合式热场的数值模拟研究
Numerical Simulation of Composite Thermal Field in Φ200mm CZSi Crystal Growth作者机构：河北工业大学材料学院天津300130
出 版 物：《稀有金属》 (Chinese Journal of Rare Metals)
年 卷 期：2008年第32卷第2期
页 面：161-164页
核心收录：
学科分类：080903[工学-微电子学与固体电子学] 07[理学] 0809[工学-电子科学与技术（可授工学、理学学位）] 070205[理学-凝聚态物理] 08[工学] 080501[工学-材料物理与化学] 0805[工学-材料科学与工程（可授工学、理学学位）] 080502[工学-材料学] 0703[理学-化学] 0702[理学-物理学]
摘 要：对国产TDR-80型单晶炉的复合式热场系统进行了优化设计,建立了不同条件下的理论模型,采用有限元数值模拟的方法分析了主加热器的延伸率、埚径比和熔体高度变化对直拉硅单晶生长中的温度梯度和热流密度分布的影响,为提高晶体生长速率和质量提供了必要的理论依据。
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