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电子材料分析中的能谱干扰峰

The Energy Spectrum Disturbing Peak in the Analyzing of Electron Material

作     者:施明哲 董本霞 

作者机构:信息产业部电子第五研究所广东广州510610 

出 版 物:《电子产品可靠性与环境试验》 (Electronic Product Reliability and Environmental Testing)

年 卷 期:2002年第20卷第4期

页      面:46-49页

学科分类:08[工学] 080502[工学-材料学] 0805[工学-材料科学与工程(可授工学、理学学位)] 

主  题:电子材料 能谱干扰峰 能谱仪 定性分析 特征X射线 和峰 逃逸峰 重叠峰 

摘      要:主要阐述了在电子元器件分析中用能谱仪作定性分析时常见的一些干扰峰和容易混淆及误判的一些谱峰。主要有和峰、逃逸峰以及一些在元器件材料分析中常遇到的元素特征峰之间的交错重叠的识别和判定方法,并把这些容易误判的谱线整理列成3种表格,以供参考,这些数据基本覆盖了在X射线能谱仪中可能出现的所有相关的谱峰。

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