镍对多弧离子镀制备的铬基金属衬底性能的影响
Influence of Ni Element on Properties of Cr Based Metal Substrate Fabricated by Multi-Arc Ion Plating作者机构：南昌大学教育部发光材料与器件工程研究中心江西南昌330047
出 版 物：《稀有金属》 (Chinese Journal of Rare Metals)
年 卷 期：2007年第31卷第4期
页 面：515-519页
核心收录：
学科分类：080903[工学-微电子学与固体电子学] 0809[工学-电子科学与技术（可授工学、理学学位）] 08[工学] 080501[工学-材料物理与化学] 0805[工学-材料科学与工程（可授工学、理学学位）] 080502[工学-材料学]
基 金：国家"863"纳米专项课题(2003AA302160)资助项目
摘 要：利用多弧离子镀和选择腐蚀相结合的技术在Si(111)衬底上首次制备了具有择优取向的铬基金属衬底,该金属衬底具有与外延级硅衬底一致的表面粗糙度及平整度。采用SEM,EDX,XRD和显微硬度计对铬基金属衬底进行了表征。研究表明:镍铬共镀有利于获得(110)择优取向的铬基金属衬底,同时镍铬共镀对表面形貌、显微硬度、平整度均存在一定影响。
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