微加工的工艺研究现状
出 版 物:《精密制造与自动化》 (Precise Manufacturing & Automation)
年 卷 期:2001年第4期
页 面:11-15页
学科分类:08[工学] 080401[工学-精密仪器及机械] 0804[工学-仪器科学与技术] 081102[工学-检测技术与自动化装置] 0811[工学-控制科学与工程]
主 题:微加工 精密设备 工业产品 小型化 机械去除 溶解去除 烧蚀
摘 要:各种工业产品小型化是发展方向之一。微加工是产品小型化的基础。文中介绍了微加工的基本概念和使用的主要方法。