气体离化团束对表面的平坦化及清洁化效果
The Smoothing and Cleaning Effects on Substrate Surface by Gas Cluster Ion Beams作者机构：清华大学材料科学与工程系北京100084 日本京都大学离子束工学实验室
出 版 物：《真空科学与技术》 (Vacuum Science and Technology)
年 卷 期：1997年第17卷第4期
页 面：252-258页
学科分类：080903[工学-微电子学与固体电子学] 0809[工学-电子科学与技术（可授工学、理学学位）] 08[工学] 080501[工学-材料物理与化学] 0805[工学-材料科学与工程（可授工学、理学学位）] 080502[工学-材料学]
摘 要：用原子力显微镜测量了气体离化团束照射后表面粗糙度的变化。已经证实气体团束轰击对表面沾污具有很高的清除率，同时却引起较低的损伤。气体离化团束优良的平坦化和清洁化效果可能与照射中多体碰撞、侧向溅射及高能量密度的沉积相关。
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