扫描透射电镜分析纳米材料的固态稀释效应

作     者：蔡宗强 鲍忠兴 金光祖 TSAI Tsungchang;BOW Jongshing;KIN Kontsu

作者机构：北京大学软件与微电子学院北京100871 宜特(上海)检测技术有限公司上海201201 宜特科技股份有限公司台湾新竹30072 

出 版 物：《电子元件与材料》 (Electronic Components And Materials)

年 卷 期：2018年第37卷第7期

页      面：88-92页

学科分类：08[工学] 0805[工学-材料科学与工程（可授工学、理学学位）] 080502[工学-材料学] 

主　　题：能量色散谱仪(EDS) 扫描透射电镜(STEM) 多层量子阱(MQW) 固态稀释 纳米材料 氮化铟镓 

摘      要：当目标物尺寸小至5 nm后,在EDS成分分析时,样品中被散射的电子束会激发邻近材料的讯号,导致原分析区域内某些特定元素测得的成分浓度远低于目标物原有的浓度,此现象在本研究中称为固态稀释。本研究通过C2光圈改变电子探针尺寸和收敛角度,分析纳米结构元件氮化铟镓多层量子阱在不同试片厚度中铟(In)浓度的变化,借以探讨固态稀释问题。借助STEM仪器操作参数的调整,降低电子束扩展效应,EDS线扫描测得的铟浓度可以提升一倍左右。