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主题

  • 1 篇 能量色散谱仪(eds...
  • 1 篇 扫描透射电镜(ste...
  • 1 篇 固态稀释
  • 1 篇 纳米材料
  • 1 篇 氮化铟镓
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机构

  • 1 篇 北京大学
  • 1 篇 宜特科技股份有限...
  • 1 篇 宜特检测技术有限...

作者

  • 1 篇 鲍忠兴
  • 1 篇 蔡宗强
  • 1 篇 金光祖

语言

  • 1 篇 中文
检索条件"主题词=固态稀释"
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扫描透射电镜分析纳米材料的固态稀释效应
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电子元件与材料 2018年 第7期37卷 88-92页
作者： 蔡宗强 鲍忠兴 金光祖 北京大学软件与微电子学院 北京100871 宜特(上海)检测技术有限公司 上海201201 宜特科技股份有限公司 台湾新竹30072
当目标物尺寸小至5 nm后,在EDS成分分析时,样品中被散射的电子束会激发邻近材料的讯号,导致原分析区域内某些特定元素测得的成分浓度远低于目标物原有的浓度,此现象在本研究中称为固态稀释。本研究通过C2光圈改变电子探针尺寸和收敛角度... 详细信息
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