喷雾热解法制备SnO_2:Sb透明导电薄膜
TRANSPARENT CONDUCTIVE SnO_2 : Sb THIN FILM PREPARED BY SPRAY PYROLYSIS METHOD作者机构：浙江大学材料科学与工程系杭州310027 浙江工业大学理学院杭州310014
出 版 物：《硅酸盐学报》 (Journal of The Chinese Ceramic Society)
年 卷 期：2003年第31卷第11期
页 面：1063-1068页
核心收录：
学科分类：080801[工学-电机与电器] 0808[工学-电气工程] 08[工学] 080501[工学-材料物理与化学] 0805[工学-材料科学与工程（可授工学、理学学位）] 080502[工学-材料学]
基 金：国家高技术研究发展计划(863计划)项目(2001AA320202)
主 题：透明导电薄膜 掺锑二氧化锡 喷雾热解 光电性能 SnO2:Sb
摘 要：采用喷雾热解技术制备出了光电性能优良的SnO_2:Sb透明导电薄膜,对薄膜的结构特性、光电性质以及制备条件对薄膜性能的影响进行了研究。并进一步研究了喷雾热解法中薄膜的形成过程和工艺参数对薄膜微观结构和性能的影响。实验结果表明:在Sb掺杂量为11％(摩尔分数)和基板温度为500℃的条件下,SnO_2:Sb薄膜具有最佳的光电性能,平均可见光透过率为82％,方块电阻达13.4Ω/□,电阻率为4.9×10^(-4)Ω·cm。
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