金刚石晶粒和薄膜的侧向沉积
Lateral Deposition of Diamond Crystals and Thin Films作者机构：湖南大学化工系长沙410082
出 版 物：《材料导报》 (Materials Reports)
年 卷 期：1996年第10卷第6期
页 面：49-52页
核心收录：
学科分类：080903[工学-微电子学与固体电子学] 0809[工学-电子科学与技术（可授工学、理学学位）] 08[工学] 080501[工学-材料物理与化学] 0805[工学-材料科学与工程（可授工学、理学学位）] 080502[工学-材料学]
摘 要：将传统的灯丝热解化学气相沉积系统改装成侧向沉积系统,并在其中进行了金刚石薄膜的正、侧向沉积。研究表明,侧向沉积的成核密度和生长率与正向沉积的情况基本相同,而侧向沉积系统中金刚石颗粒和薄膜的沉积速率要比传统的沉积系统的高,但结构更趋复杂。讨论了侧向基底对金刚石成核和生长过程的影响,深化了金刚石沉积机理的理解。
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