多层膜软X光反射镜的研制
Preparation of multilayer soft X-ray mirrors作者机构：复旦大学物理系
出 版 物：《光学学报》 (Acta Optica Sinica)
年 卷 期：1988年第8卷第6期
页 面：572-576页
核心收录：
学科分类：0809[工学-电子科学与技术（可授工学、理学学位）] 07[理学] 070205[理学-凝聚态物理] 08[工学] 0805[工学-材料科学与工程（可授工学、理学学位）] 080502[工学-材料学] 0702[理学-物理学]
摘 要：本文介绍了镍-碳多层膜软X光反射镜的设计与制造方法,特别是膜厚监控法.用俄歇谱仪分析了一个样品的剖面情况;对一些样品在1.54(?)的衍射特性和在软X光区的反射率进行了测量并与理论计算结果作了比较.
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