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文献类型

  • 2 篇 期刊文献

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日期分布

学科分类号

  • 2 篇 工学
    • 1 篇 仪器科学与技术
    • 1 篇 材料科学与工程（可...
    • 1 篇 电子科学与技术（可...
    • 1 篇 控制科学与工程
  • 1 篇 理学
    • 1 篇 物理学

主题

  • 2 篇 软x光反射镜
  • 1 篇 多层膜
  • 1 篇 镍-碳多层膜
  • 1 篇 反射镜

机构

  • 2 篇 复旦大学

作者

  • 2 篇 郑天水
  • 1 篇 沈元华
  • 1 篇 尤天祥
  • 1 篇 金庆原

语言

  • 2 篇 中文
检索条件"主题词=软X光反射镜"
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多层膜软x光反射镜的研制
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引用
光学学报 1988年 第6期8卷 572-576页
作者： 郑天水 沈元华 复旦大学物理系
本文介绍了镍-碳多层膜软x光反射镜的设计与制造方法,特别是膜厚监控法.用俄歇谱仪分析了一个样品的剖面情况;对一些样品在1.54(?)的衍射特性和在软x光区的反射率进行了测量并与理论计算结果作了比较.
来源： 同方期刊数据库 同方期刊数据库 评论
多层膜软x光反射镜
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引用
光学机械 1991年 第1期 25-33页
作者： 郑天水 金庆原 尤天祥 复旦大学
复旦大学物理系激光研究室从1984年开始软x光反射镜的研制工作。六年来,进行了超薄多层膜的膜厚监控的方法研究、单层超薄金属膜的特性研究、Ni-C和Mo-Si多层膜软x光反射镜的制备与测试以及用PVD与LB技术相结合制备软x光反射镜。本文详... 详细信息
来源： 维普期刊数据库 维普期刊数据库 同方期刊数据库 同方期刊数据库 评论
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