埋沟式横向电压型集成压力传感器
Buried Channel Transverse-Voltage Type Piezoresistive IC Pressure Transducer
作 者:晋琦 鲍敏杭 王言 周昊
作者机构:复旦大学电子工程系
出 版 物:《电子学报》 (Acta Electronica Sinica)
年 卷 期:1991年第19卷第2期
页 面:34-38页
核心收录:
学科分类:080202[工学-机械电子工程] 08[工学] 0802[工学-机械工程]
主 题:压力传感器 埋沟式 电压型 传感器
摘 要:本文提出一种低功耗埋沟式横向电压型集成压力传感器结构,并根据精确的工艺模型成功地进行了工艺计算机模拟程序和制作。实验表明,该器件可以在低功耗条件下具有很高的灵敏度和可靠的稳定性。
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