咨询与建议

看过本文的还看了

相关文献

该作者的其他文献

文献详情 >埋沟式横向电压型集成压力传感器 收藏

埋沟式横向电压型集成压力传感器

Buried Channel Transverse-Voltage Type Piezoresistive IC Pressure Transducer

作     者:晋琦 鲍敏杭 王言 周昊 

作者机构:复旦大学电子工程系 

出 版 物:《电子学报》 (Acta Electronica Sinica)

年 卷 期:1991年第19卷第2期

页      面:34-38页

核心收录:

学科分类:080202[工学-机械电子工程] 08[工学] 0802[工学-机械工程] 

主  题:压力传感器 埋沟式 电压型 传感器 

摘      要:本文提出一种低功耗埋沟式横向电压型集成压力传感器结构,并根据精确的工艺模型成功地进行了工艺计算机模拟程序和制作。实验表明,该器件可以在低功耗条件下具有很高的灵敏度和可靠的稳定性。

读者评论 与其他读者分享你的观点

用户名:未登录
我的评分