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文献类型

  • 1 篇 期刊文献

馆藏范围

  • 1 篇 电子文献
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日期分布

学科分类号

  • 1 篇 工学
    • 1 篇 机械工程

主题

  • 1 篇 埋沟式
  • 1 篇 电压型
  • 1 篇 压力传感器
  • 1 篇 传感器

机构

  • 1 篇 复旦大学

作者

  • 1 篇 晋琦
  • 1 篇 王言
  • 1 篇 鲍敏杭
  • 1 篇 周昊

语言

  • 1 篇 中文
检索条件"主题词=埋沟式"
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埋沟式横向电压型集成压力传感器
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引用
电子学报 1991年 第2期19卷 34-38页
作者： 晋琦 鲍敏杭 王言 周昊 复旦大学电子工程系
本文提出一种低功耗埋沟式横向电压型集成压力传感器结构,并根据精确的工艺模型成功地进行了工艺计算机模拟程序和制作。实验表明,该器件可以在低功耗条件下具有很高的灵敏度和可靠的稳定性。
来源： 维普期刊数据库 维普期刊数据库 同方期刊数据库 同方期刊数据库 评论
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