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有机金属气相外延生长法

作     者:靳敏 

出 版 物:《电子材料快报》 

年 卷 期:1995年第11期

页      面:14-15页

学科分类:080903[工学-微电子学与固体电子学] 0809[工学-电子科学与技术(可授工学、理学学位)] 08[工学] 080501[工学-材料物理与化学] 0805[工学-材料科学与工程(可授工学、理学学位)] 080502[工学-材料学] 

主  题:有机金属 气相外延法 化合物半导体 

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