Langmuir单探针诊断射频辉光放电等离子体及其数据处理
DIAGNOSTIC OF RF PLASMA BY USING LANGMUIR PROBE AND ITS NUMERICAL PROCESSING作者机构：汕头大学物理系汕头515063
出 版 物：《物理学报》 (Acta Physica Sinica)
年 卷 期：2001年第50卷第7期
页 面：1313-1317页
核心收录：
学科分类：07[理学] 070204[理学-等离子体物理] 0702[理学-物理学]
基 金：国家自然科学基金!(批准号 :19875 0 3 3 )&&
主 题：Langmuir探针 二次微商 数值滤波 微分电路 数据处理 等离子体 诊断技术
摘 要：Langmuir探针是诊断等离子体参数的重要手段 .报道了在氩气射顿 (13 5 6MHz)辉光放电等离子体中使用调谐单探针进行诊断 ,对探针I V特性曲线的统计噪声进行了数字滤波的光滑化处理 ,而后求二次微商 .在相同的放电条件下 ,使用自行设计的微分电路 ,对探针特性二次微商进行在线测量 .这两种方法得到的二次微商结果能够较好地符合 .
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