QCM微粒传感器中的高压静电吸附结构设计与性能评估
Design and Performance Evaluation of High Voltage Electrostatic Adsorption Structure in QcM Particle Sensor作者机构：重庆交通大学重庆400074
出 版 物：《电子技术（上海）》 (Electronic Technology)
年 卷 期：2024年第53卷第6期
页 面：36-37页
学科分类：080202[工学-机械电子工程] 08[工学] 0802[工学-机械工程]
摘 要：阐述微型PM颗粒物检测器的设计,提出基于石英晶体压电效应的检测方法。该方法采用QCM微粒检测技术,设计并研发微型颗粒物检测器电路控制芯片,建立多颗粒传感解耦模型,搭建QCM电路仿真实验系统,实现利用QCM传感器对空气PM值的检测。
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