硅一体化薄膜微电极电化学传感器件的稳定性研究

作     者：周仲柏 柳文军 吴青海 刘炯权 Zhou Zhongbai,Liu Wenjun (Department of Chemistry,Wuhan University,Wuhan 430072,China) Wu Qinghai,Liu Jiongquan(Liu Chung Chiun) (Electronics Design Center and Edison Sensor Technology Center, Case Western Reserve University,Cleve

作者机构：武汉大学化学系 美国凯斯西储大学电子设计中心和爱迪生传感器技术中心 

出 版 物：《武汉大学学报（自然科学版）》 (Journal of Wuhan University(Natural Science Edition))

年 卷 期：1997年第43卷第2期

页      面：163-168页

核心收录：

学科分类：080903[工学-微电子学与固体电子学] 081704[工学-应用化学] 0809[工学-电子科学与技术（可授工学、理学学位）] 08[工学] 0817[工学-化学工程与技术] 080501[工学-材料物理与化学] 0805[工学-材料科学与工程（可授工学、理学学位）] 080502[工学-材料学] 

基　　金：国家自然科学基金 中国科学院传感技术国家重点实验室开放基金 

主　　题：电化学传感 硅 微机械加工 微电极 薄膜 

摘      要：研究讨论了硅一体化微机械结构型薄膜微电极电化学传感器件的稳定性及其相关的电化学问题．以电流型ＣＯ２薄膜微电极传感器件为例，通过改进器件构型设计，发展稳定的Ａｇ＋／Ａｇ参比电极取代常规的Ａｇ／ＡｇＣｌ电极，及在硅微机械加工工艺上作相应的变动，使器件中的电化学串音减至最小并得到有效的控制。