检索结果-南通市图书馆

传感器技术 2001年第1期20卷 57-59页

作者：李跃进杨银堂朱作云马晓华陈锦杜西安电子科技大学微电子研究所陕西西安710071 中国航天科技集团公司16所陕西西安710100

介绍了硅电容式加速度传感器的工作原理和制作过程。传感器的敏感元件为一个差分电容器 ,它是由活动质量块与两个玻璃极板通过阳极键合形成。活动质量块用标准的双极工艺和各向异性腐蚀工艺制作。该传感器的量程为 2 0 gn,线性度为 10 -4

关键词：加速度传感器差分电容器各向异性腐蚀微机械加工

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表面凹槽织构微机械加工及其摩擦学性能研究

工具技术 2021年第12期55卷 73-76页

作者：杨立光马文锁高飞李继锋邓明刘昭林马磊孟鸿超河南科技大学清华大学洛阳轴承研究所有限公司成都工具研究所有限公司

作为新兴的表面改性技术,表面织构化可以有效减少摩擦,在摩擦表面应用较为广泛。本文介绍了0Cr17Ni7Al表面织构微机械加工技术,研究了相同载荷及转速工况条件下的光滑表面与凹槽织构表面在摩擦过程中的摩擦性能及磨损机理。研究发现,精... 详细信息

作为新兴的表面改性技术,表面织构化可以有效减少摩擦,在摩擦表面应用较为广泛。本文介绍了0Cr17Ni7Al表面织构微机械加工技术,研究了相同载荷及转速工况条件下的光滑表面与凹槽织构表面在摩擦过程中的摩擦性能及磨损机理。研究发现,精雕JDGR200T高速加工中心可以加工0.8mm宽度0Cr17Ni7Al表面凹槽织构,且凹槽槽底圆滑平整,光滑表面的摩擦系数高于凹槽织构表面,但二者的磨损量差别不大。

关键词：表面微机械加工凹槽织构摩擦

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多孔硅微机械加工温敏传感器的研究

仪表技术与传感器 1998年第3期 4-6,13页

作者：邹平松赖宗声华东师范大学电子系中国科学院传感技术国家重点实验室

本文在对阳极氧化反应形成多孔硅及对多孔硅选择性生长机理、刻蚀研究的基础上，在硅片上做出到衬底距离大于５０μｍ的微桥结构。然后在微桥上溅射镍—铬电阻薄膜，形成温敏传感器微结构，并对其温度电阻特性，热响应时间进行了测量。... 详细信息

本文在对阳极氧化反应形成多孔硅及对多孔硅选择性生长机理、刻蚀研究的基础上，在硅片上做出到衬底距离大于５０μｍ的微桥结构。然后在微桥上溅射镍—铬电阻薄膜，形成温敏传感器微结构，并对其温度电阻特性，热响应时间进行了测量。利用该结构本文还设计出一种新型的温敏、气敏多功能传感结构。

关键词：多孔硅微机械加工温敏传感器

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微机械加工石英角速率传感器

遥测遥控 1997年第2期18卷 1-7页

作者：史长捷航天工业总公司 100830

石英音叉振荡器式角速率传感器基于柯里奥利效应。柯氏效应所产生的力将音叉（结构元件）的振动线性运动变成为拒，这力短调制振荡频率，经解调，产生一个正比于输入角速率的直流电压。本传感器用微机械加工制成，长期稳定性好，加工精... 详细信息

石英音叉振荡器式角速率传感器基于柯里奥利效应。柯氏效应所产生的力将音叉（结构元件）的振动线性运动变成为拒，这力短调制振荡频率，经解调，产生一个正比于输入角速率的直流电压。本传感器用微机械加工制成，长期稳定性好，加工精度很高。其MTBF长达100000小时．也很便宜，有着广泛应用——测试、控制和导航。文中给出结构、电路及应用例，同时给出设计中应考虑的问题。

关键词：微机械加工石英角速率传感器

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肼在硅微机械加工中的应用

传感器技术 1996年第2期15卷 47-50页

作者：王壮凯孙陆平李令成东北传感技术研究所哈尔滨理工大学黎明化工研究院

介绍肼在硅微机械加工中的应用原理和方法．

关键词：肼腐蚀硅微机械加工

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微机械加工的微型压电行波马达

功能材料与器件学报 1998年第2期4卷 78-82页

作者：沈德新张健张保安卢建国董荣康陈思琴杨根庆王渭源中国科学院上海冶金研究所传感技术国家重点实验室

在分析压电行波马达工作原理的基础上，采用微机械加工工艺分别研制成定子和转子，并通过微组装得到了完整的微机械压电马达。马达定子、转子的尺寸均为２ｍｍ。初步实验表明，在小于１０伏交流信号激励下，马达旋转转速可达到约５０ｒ... 详细信息

在分析压电行波马达工作原理的基础上，采用微机械加工工艺分别研制成定子和转子，并通过微组装得到了完整的微机械压电马达。马达定子、转子的尺寸均为２ｍｍ。初步实验表明，在小于１０伏交流信号激励下，马达旋转转速可达到约５０ｒｐｍ。

关键词：微机械加工定子转子压电行波马达

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微机械加工及其在光器件方面的应用

光机电信息 1995年第7期12卷 15-18页

作者：杨妹清

近来,微机械的实现仍被认为是未来的梦想.目前,在微机械加工的基础上,研究人员正在探究微机械电子学、进而是融汇了光技术的微光机械电子学的可能性,本文对微机械加工,其微型化的方法和存在的问题作以叙述.

关键词：微机械加工光器件半导体制造工艺

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微机械加工硅电容式加速度传感器

微机械加工硅电容式加速度传感器

2000全国力学量传感器及测试、计量学术交流会

作者：李跃进朱作云杨银堂马晓华陈锦杜西安电子科技大学微电子研究所西安电子科技大学微电子研究所西安电子科技大学微电子研究所航天科技集团16所航天科技集团16所

1 引言随着世界科学技术的发展,微型机电系统(MEMS)近几年在许多国家已有了较大的突破与发展,并已成功地应用于航空、航天、汽车、医学等诸多领域。作为MEMS的一个主要分支——微型惯性器件也在发达国家迅速发展起来,由微型硅陀螺和微... 详细信息

1 引言随着世界科学技术的发展,微型机电系统(MEMS)近几年在许多国家已有了较大的突破与发展,并已成功地应用于航空、航天、汽车、医学等诸多领域。作为MEMS的一个主要分支——微型惯性器件也在发达国家迅速发展起来,由微型硅陀螺和微型硅加速度计组成的微惯性组合(MIMU)也有望应用于航天、航空等军事领域。微型硅加速度计是一种新颖的加速度传感器,它采用硅单晶材料,结合微细加工工艺实现。微型硅加速度计具有结构简单,体积小,功耗低,适合大批量生产,价格低廉等特点,因而在卫星上微重力的测量、微型惯性测量组合、简控弹的制导系统、汽车的安全系统、倾角测量、冲撞力测量等领域有广泛的应用前景。

关键词：电容式加速度传感器微机械加工线性度挠性梁

来源： cnki会议评论

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cnki会议

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微机械加工微型葡萄糖传感器

功能材料与器件学报 1997年第2期3卷 109-113页

作者：朱建中吴佳俐陆德仁张国雄周衍中国科学院上海冶金研究所传感技术国家重点实验室上海交通大学应用物理系

用微机械加工技术和微电子平面工艺制备了微型Ｃｌａｒｋ型氧电极。外型尺寸为１５×２×０７ｍｍ３，敏感面积为１×０５ｍｍ２。在敏感区固定葡萄糖氧化酶（ＧＯＤ），构成了微型葡萄糖传感器。传感器的主要性能：灵敏度２２ｎ... 详细信息

用微机械加工技术和微电子平面工艺制备了微型Ｃｌａｒｋ型氧电极。外型尺寸为１５×２×０７ｍｍ３，敏感面积为１×０５ｍｍ２。在敏感区固定葡萄糖氧化酶（ＧＯＤ），构成了微型葡萄糖传感器。传感器的主要性能：灵敏度２２ｎＡ／（ｍｍｏｌ／Ｌ）；响应时间＜１ｍｉｎ，线性范围０１～１０ｍｍｏｌ／Ｌ，变动系数９７％，稳定响应在二十天以上。

关键词：微机械加工微型氧电极葡萄糖生物传感器

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微机械加工的动向

光机电信息 1995年第4期12卷 8-10页

作者：高晓萍

所谓微机械加工就是制作微机械或者微型装置的微细加工技术。要实现既小型又具有高功能的装置，虽然主要利用制造半导体集成电路的光刻技术，但也需要立体微细加工技术。在材料方面，主要使用能与电路融为一体的硅，也使用晶体之类的压... 详细信息

所谓微机械加工就是制作微机械或者微型装置的微细加工技术。要实现既小型又具有高功能的装置，虽然主要利用制造半导体集成电路的光刻技术，但也需要立体微细加工技术。在材料方面，主要使用能与电路融为一体的硅，也使用晶体之类的压电材料或者其它各种材料。

关键词：微机械加工微细加工光刻集成式微型传感器分布式静电微型执行元件立体微细加工