CdZnTe晶体(111)面摇摆曲线不唯一现象研究
Nounique Phenomenon of Rocking Curve on (111) Surfaces of CdZnTe Wafers作者机构:西北工业大学材料学院西安710072 西北工业大学材料学院西安710072 西北工业大学材料学院西安710072 西北工业大学材料学院西安710072 西北工业大学材料学院西安710072
出 版 物:《Journal of Semiconductors》 (半导体学报(英文版))
年 卷 期:2007年第28卷第Z1期
页 面:80-83页
核心收录:
学科分类:080903[工学-微电子学与固体电子学] 0809[工学-电子科学与技术(可授工学、理学学位)] 08[工学] 080501[工学-材料物理与化学] 0805[工学-材料科学与工程(可授工学、理学学位)] 080502[工学-材料学]
基 金:国家自然科学基金资助项目(批准号:50336040)
摘 要:CdZnTe晶体通常利用其(333)晶面的X射线衍射摇摆曲线来检测(111)晶面的结晶质量.本文根据CdZnTe晶体(333)面摇摆曲线实验结果,首次提出了CdZnTe晶体摇摆曲线的不唯一现象.摇摆曲线的这种不唯一现象是样品绕(111)面法线方向旋转360.过程中,晶体的(333)面和(333)面在同一衍射几何中都发生了布拉格衍射,优化扫描后得出两个摇摆曲线.分析了CdZnTe晶体(333)面和(-333)面对X射线散射能力,得出CdZnTe晶体(333)面的衍射强度小于(-333)面的衍射强度,所以在同等实验条件下,对同一CdZnTe晶片(333)面的摇摆曲线的强度比(333)面摇摆曲线的强度低.