超声辅助对PEO-LiClO_(4)与Al阳极键合质量的影响

作     者：张丽佛 刘翠荣 阴旭 赵为刚 徐大伟 Zhang Lifo;Liu Cuirong;Yin Xu;Zhao Weigang;Xu Dawei

作者机构：太原科技大学材料科学与工程学院太原030024 

出 版 物：《微纳电子技术》 (Micronanoelectronic Technology)

年 卷 期：2021年第58卷第6期

页      面：539-544页

学科分类：080903[工学-微电子学与固体电子学] 0809[工学-电子科学与技术（可授工学、理学学位）] 08[工学] 080501[工学-材料物理与化学] 0805[工学-材料科学与工程（可授工学、理学学位）] 080502[工学-材料学] 

基　　金：国家自然科学基金资助项目(51875384) 山西省自然科学基金资助项目(201801D121085) 

主　　题：封装 阳极键合 超声辅助 键合强度 聚氧化乙烯-高氯酸锂(PEO-LiClO_(4)) 

摘      要：聚氧化乙烯-高氯酸锂(PEO-LiClO_(4))与Al的阳极键合工艺中,因键合温度较高,容易引起两者热膨胀系数不匹配、产生残余应力问题。针对这些问题,利用自主搭建的超声辅助阳极键合系统进行工艺实验,通过设计阳极键合与超声辅助键合的对比实验,进而分析键合电流和键合强度的变化趋势,从而验证超声辅助阳极键合工艺的可行性。研究结果表明:在键合电压700 V时,增加60μm超声振幅的键合峰值电流可达8.2 mA,相较于未加超声辅助时的峰值电流4.8 mA有明显提升。加超声辅助的过渡层较未加超声辅助的过渡层更厚,界面处发生电化学反应,过渡层出现新的官能团。增加超声辅助后的键合强度由4.0 MPa增强至5.9 MPa,键合强度明显提高。