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用于AR显示技术的亚波长Al光栅的ICP刻蚀工艺研究

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微纳电子与智能制造 2024年第1期6卷 59-64页

作者：吴必昇周燕萍上村隆一郎左超杨秉君爱发科(苏州)技术研究开发有限公司苏州215147 日本真空技术股份有限公司AEED部茅崎253-0071

铝材料因其良好的光反射率和低热线性膨胀系数,被广泛应用在增强现实设备的光栅光波导中。采用ulvac公司生产的电感耦合等离子体(ICP)刻蚀设备NE-550对Al材料进行了干法刻蚀工艺的研究。实验中采用SiO_(2)作为刻蚀掩膜,Cl_(2)/BCl_(3)... 详细信息

铝材料因其良好的光反射率和低热线性膨胀系数,被广泛应用在增强现实设备的光栅光波导中。采用ulvac公司生产的电感耦合等离子体(ICP)刻蚀设备NE-550对Al材料进行了干法刻蚀工艺的研究。实验中采用SiO_(2)作为刻蚀掩膜,Cl_(2)/BCl_(3)气体作为工艺气体,通过对实验工艺参数的调整,探究了ICP源功率、射频偏压功率、腔体压强以及气体流量对Al的刻蚀速率、与上层掩膜的选择比的影响。最后通过优化工艺参数,得到了底部平整、侧壁垂直的栅槽结构。此研究为亚波长尺度的光栅刻蚀工艺的优化和技术突破提供了参考。

关键词：电感耦合等离子体刻蚀亚波长光栅金属铝硅基液晶增强现实

锂电添加剂FEC-VC二元体系固液平衡数据的测定及回归

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化工进展 2024年第8期43卷 4246-4252页

作者：向瑞艾波吴高胜李瑜哲宗睿许保云杜丽君上海化工研究院有限公司上海200063 上海华谊三爱富新材料有限公司上海200025

针对熔融结晶技术分离锂电池电解液添加剂存在缺少基础理论数据的问题,本文采用差示扫描量热法(DSC),测定了氟代碳酸乙烯酯(FEC)-碳酸亚乙烯酯(VC)二元固液平衡数据,实验数据表明该二元物系为低共熔型物系。在此基础上采用活度系数法进... 详细信息

针对熔融结晶技术分离锂电池电解液添加剂存在缺少基础理论数据的问题,本文采用差示扫描量热法(DSC),测定了氟代碳酸乙烯酯(FEC)-碳酸亚乙烯酯(VC)二元固液平衡数据,实验数据表明该二元物系为低共熔型物系。在此基础上采用活度系数法进行分析计算,得到了二元体系活度系数数据。借助AspenPlus流程模拟软件的数据回归功能,使用vanlaar、NRTL、Redlich-Kister模型对固液平衡数据进行回归,得到了各模型的回归参数。根据模型计算二元固液平衡数据,并绘制出相应的低共熔型二元固液相图。对各模型回归结果进行对比,结果显示vanlaar模型回归结果偏差较大,Redlich-Kister模型回归所得结果与实验数据较为相符,其平衡温度标准差小于0.005、平均偏差小于1.0K。为FEC-VC的结晶分离技术提供了固液平衡数据和热力学参数。

关键词：氟代碳酸乙烯酯结晶热力学相平衡活度系数回归

基于ADAMS/CAR的某SUV汽车操纵稳定性仿真实验分析及优化

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辽宁工程技术大学学报（自然科学版） 2024年第3期43卷 333-341页

作者：刘克铭吴雪莹王宝来孙志扬姜长鹏辽宁工程技术大学机械工程学院辽宁阜新123000 沈阳真空技术研究所有限公司辽宁沈阳110000

操纵稳定性是车辆正常行驶时受到外界扰动后保持稳定运行或迅速恢复稳定的一种能力,对车辆安全平稳运行至关重要。为优化车辆的操纵稳定性,对某SUV汽车进行动力性分析,建立物理模型和数学模型,阐述悬架对汽车操纵稳定性的影响。采用ADAM... 详细信息

操纵稳定性是车辆正常行驶时受到外界扰动后保持稳定运行或迅速恢复稳定的一种能力,对车辆安全平稳运行至关重要。为优化车辆的操纵稳定性,对某SUV汽车进行动力性分析,建立物理模型和数学模型,阐述悬架对汽车操纵稳定性的影响。采用ADAMS/CAR进行整车建模,运用MATLAB软件对操纵稳定性评价指标进行评分。选取悬架的力学特性参数作为优化变量,以操纵稳定性评价指标的评分作为优化目标,通过对比选取最优方案。研究结果表明:NGSA-II算法对道路实验评价指标的优化效果较好,能够显著提升整车的操纵稳定性。

关键词：仿真实验操纵稳定性性能优化悬架整车建模 NGSA-II算法

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数字化转型推进制造业企业精益成本管理的研究

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会计师 2024年第13期 22-24页

作者：王淑霞北京北方华创真空技术有限公司

数字化转型意味着数字技术与企业运营模式的深度融合。数字化转型能否促进制造业企业提高精益成本管理能力,是此次研究关注的重点问题。分析数字化转型的优势和制造业企业精益成本管理的障碍,探讨数字化转型推进制造业企业精益成本管理... 详细信息

数字化转型意味着数字技术与企业运营模式的深度融合。数字化转型能否促进制造业企业提高精益成本管理能力,是此次研究关注的重点问题。分析数字化转型的优势和制造业企业精益成本管理的障碍,探讨数字化转型推进制造业企业精益成本管理的机制。

关键词：精益成本管理数字化转型制造业企业

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三维互穿结构Cu-W触头抗熔焊机理

高电压技术 2024年第2期50卷 515-525页

作者：韩颖吴世齐宋博文安辉齐丽君陆艳君沈阳工业大学特种电机与高压电器教育部重点实验室沈阳110870 沈阳中北真空技术有限公司沈阳110167 沈阳芯源微电子设备股份有限公司沈阳110168

触头闭合回跳电弧引起的开关电器动熔焊问题,直接影响大功率接触器的电寿命和可靠性。为此设计了2种三维互穿有序结构的四边形和菱形十二面体的Cu-W复合材料触头,围绕触头动熔焊过程中的电弧、熔池、液滴溅射及凝固相变降温等问题,建立... 详细信息

触头闭合回跳电弧引起的开关电器动熔焊问题,直接影响大功率接触器的电寿命和可靠性。为此设计了2种三维互穿有序结构的四边形和菱形十二面体的Cu-W复合材料触头,围绕触头动熔焊过程中的电弧、熔池、液滴溅射及凝固相变降温等问题,建立触头熔池流体动力学模型和冷凝降温数学模型,研究了2种有序结构和商用无序结构的触头阳极在闭合回跳电弧作用下熔化温度分布、熔池喷溅形貌和接触区域金属凝固过程,通过模拟熔焊实验平台进行了熔焊力验证。结果表明,通过调节三维互穿有序W骨架结构,能够有效抑制熔池扩散和液态金属喷溅,并降低熔焊力,从而提高Cu-W复合材料的抗熔焊性能。

关键词：三维互穿结构 Cu-W复合材料熔化喷溅熔池凝固熔焊力

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热辐射对行波管阴极温度的影响

强激光与粒子束 2024年第10期36卷 24-35页

作者：李延威李飞尚新文肖刘赵建东易红霞舟婕张明晨史永康中国科学院空天信息创新研究院北京101407 山东微波电真空技术有限公司济南250103

由于行波管工作时无法直接测量阴极温度,目前主要通过组件测温和电子枪热仿真确定阴极工作温度。热辐射不仅是电子枪热量传递的主要途径之一,也是产生热损耗的主要因素,因而热辐射是电子枪热分析不可忽略的因素。对热损耗进行了定量分析... 详细信息

由于行波管工作时无法直接测量阴极温度,目前主要通过组件测温和电子枪热仿真确定阴极工作温度。热辐射不仅是电子枪热量传递的主要途径之一,也是产生热损耗的主要因素,因而热辐射是电子枪热分析不可忽略的因素。对热损耗进行了定量分析,考虑了接触热阻和热损耗,建立了全面的热辐射边界,对阴极-热屏组件进行热仿真,通过调整零件表面发射率拟合了阴极-热屏组件测温实验数据曲线,得到了行波管电子枪高温区域零件表面的发射率,分析了热损耗、零件表面发射率对阴极温度的影响,并通过电子枪热平衡实验验证了所得发射率数值的正确性,进而得到了更准确的电子枪温度分布云图。研究表明,阴极温度950~1100℃时其表面发射率为0.65;电子枪零件表面发射率越大,阴极温度越低,阴极筒表面发射率对阴极温度影响最大;温度越高热子热损耗越大,不考虑热损耗仿真得到的阴极表面温度偏高14.4~17.5℃;组件测温得到的阴极表面温度比整管时高42~62℃。

关键词：行波管阴极热辐射热损耗发射率

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用于PVD电源的新型三相LCC变换器

电力设备管理 2024年第1期 294-296页

作者：王欣乐卫平刘涛张香港马泽鹤深圳市恒运昌真空技术有限公司

PVD直流等离子体电源在电源领域属于特种应用产品,广泛应用于集成电路制造中的金属及非金属材料溅射镀膜。针对集成电路制造产业中对PVD直流等离子体电源的应用需求,本文提出一种用于PVD电源的新型三相LCC变换器。

关键词： LCC变换器 PVD直流电源第三代半导体限流保护

电真空器件空间行波管制造工艺保证及可靠性分析

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中文科技期刊数据库（引文版）工程技术 2024年第9期 0161-0164页

作者：张欣玲山东微波电真空技术有限公司山东济南250100

随着各类电真空器件渗透到我国各行各业,它们的制造工艺和表现可靠性的问题愈发受到关注。特别是空间行波管(TWTs)由于其广泛的应用和良好的性能特征,在电真空器件中占据了重要地位。针对其制造工艺和可靠性问题,本研究结合理论研究及... 详细信息

随着各类电真空器件渗透到我国各行各业,它们的制造工艺和表现可靠性的问题愈发受到关注。特别是空间行波管(TWTs)由于其广泛的应用和良好的性能特征,在电真空器件中占据了重要地位。针对其制造工艺和可靠性问题,本研究结合理论研究及实际制造与应用,详细分析了空间行波管的功能模块、工艺要点、控制要素等关键信息。结果显示,优化良好的制造工艺不仅能保证空间行波管的性能稳定性,并且可以提升其可靠性,从而降低管理成本,增加工艺效率。此外,本文还探讨了空间行波管的可靠性评估模型和保障策略,为电真空器件的行业标准与管理提供了新的参考与借鉴。

关键词：电真空器件空间行波管制造工艺可靠性管理成本

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机械冲击条件下锂离子蓄电池安全性分析

工矿自动化 2024年第9期50卷 161-166页

作者：倪春明上海煤科检测技术有限公司上海201400

煤矿井下环境恶劣且空间狭小,锂离子蓄电池容易遭受外部的物理冲击或损害,引发安全事故。以100 A·h矿用锰酸锂离子蓄电池作为研究对象,对该电池进行针刺、高温、潮湿试验,分析电池的安全性能。通过针刺试验模拟煤矿井下环境中潜在的机... 详细信息

煤矿井下环境恶劣且空间狭小,锂离子蓄电池容易遭受外部的物理冲击或损害,引发安全事故。以100 A·h矿用锰酸锂离子蓄电池作为研究对象,对该电池进行针刺、高温、潮湿试验,分析电池的安全性能。通过针刺试验模拟煤矿井下环境中潜在的机械冲击,用尖锐物体刺入电池,观察电池在极端条件下的反应。使用炉箱和湿度控制环境箱模拟煤矿井下的高温和潮湿环境,对针刺后的电池实施试验,评估电池在煤矿井下极端环境中的安全性和可靠性。试验结果表明:①电池被钨针刺穿后,表面出现一定变形和破裂,但未出现电解质泄漏的情况,同时电池并未出现冒烟、起火、爆炸等危险情况,内部也没有气体产生。被钨针刺穿后,电池温度显著上升,但能控制在安全范围内且没有引发燃烧或爆炸,说明该电池在煤矿井下应用中具有一定的热稳定性。②被刺穿电池在炉箱加热后显著膨胀,并伴随有气体泄漏的现象,但尚未引发爆炸或燃烧,说明电池在特定条件下具有一定的热稳定性。③在潮湿环境下,被刺穿电池产生气体,增加了内部压力,在刺穿和潮湿的双重影响下,使得电池温度增加,但因为潮湿环境中的水分起到一定的冷却作用,与高温环境下相比,电池温度上升趋势较为缓慢,且仍未引发爆炸或燃烧,说明电池在潮湿环境下仍具有热稳定性,不会出现热失控现象。

关键词：矿用锰酸锂离子蓄电池电池安全性试验机械冲击针刺试验高温试验潮湿试验

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