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电动汽车热泵空调系统用MEMS压力温度传感器

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微纳电子技术 2023年第7期60卷 1102-1107页

作者：王伟忠许旭刘聪聪付志杰杨拥军河北美泰电子科技有限公司石家庄050200 中国电子科技集团公司第十三研究所石家庄050051 合肥江航飞机装备股份有限公司合肥230051

基于硅压阻效应,利用微电子机械系统(MEMS)技术,研制了一种可用于新能源电动汽车热泵空调系统的激光焊金属密封结构的高可靠MEMS压力温度传感器。采用有限元软件ANSYS对传感器芯片结构进行了应力仿真分析,芯片敏感膜采用线性好、工艺简... 详细信息

基于硅压阻效应,利用微电子机械系统(MEMS)技术,研制了一种可用于新能源电动汽车热泵空调系统的激光焊金属密封结构的高可靠MEMS压力温度传感器。采用有限元软件ANSYS对传感器芯片结构进行了应力仿真分析,芯片敏感膜采用线性好、工艺简单、成本低的平膜结构。结合MEMS加工工艺,利用低温硅-硅键合技术、硅通孔(TSV)技术实现了压敏电阻的芯片级介质隔离。设计了传感器的全金属密封结构,搭建了汽车热管理核心热泵空调系统台架,并进行了长期可靠性验证。结果表明,该传感器的基本性能良好,全温区(-40~135℃)传感器压力精度<0.3%FS,可长期应用于新能源电动汽车热管理核心热泵空调系统。

关键词：压力温度传感器微电子机械系统(MEMS) 硅通孔(TSV) 全金属密封结构新能源电动汽车

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利率市场化与IT变革

金融电子化 2014年第3期 42-43页

作者：李波 Axxiome北美分公司

利率市场化改革旨在提高资金配置效率,促进经济增长。利率市场化的时代,必然是推动中国金融机构市场化竞争的时代,利率的决策权交给金融机构,由金融机构自己根据资金状况和对金融市场动向的判断来自主调节利率水平,最终形成以中央银行... 详细信息

利率市场化改革旨在提高资金配置效率,促进经济增长。利率市场化的时代,必然是推动中国金融机构市场化竞争的时代,利率的决策权交给金融机构,由金融机构自己根据资金状况和对金融市场动向的判断来自主调节利率水平,最终形成以中央银行基准利率为基础,以货币市场利率为中介,由市场供求决定金融结

关键词：利率市场化盈利分析风险管控定价模式金融机构 IT

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高科技制造业工艺设备的尾气处理

工厂动力 2011年第3期 59-65页

作者：刘建勋上海华虹nec电子有限公司动力部

本文介绍集成电路、液晶光电和薄膜太阳能等高科技制造行业中，工艺设备尾气除害用的废气处理装置以及相关产品的分类、功能、原理、处理效率、日常维护、报警处理和相关环保法律法规等。

关键词：集成电路洁净厂房(Cleanroom) 废气处理装置或尾气处理装置(Local Scrubber,简称:L/S)特殊气体预防性保养(PM:Preventive Maintenance) 报警(alarm)

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半导体工厂冷水系统节能项目及管理

洁净与空调技术 2013年第3期 38-46页

作者：丁霁波龚凯上海华虹nec电子有限公司动力部

重点讲述半导体工厂冷水系统中的水蓄冷及设备冷却水预冷两个节能项目;简单介绍相关设备涉及的其他节能项目,同时介绍冷水系统相关设备的节能管理,以供各位同行参考。

关键词：半导体工厂冷水系统节能管理

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FADAC—野战炮兵自动数字计算机

电子计算机参考资料 1965年第3期 19-24页

作者： R.J.Brachman 北美航空有限公司　　Autonetic分公司

现在炮兵有一种先进的武器控制系统,足以大大提高射击的精度和速度。武器的改进、通信的现代化和战场的机动性,加快了战争的速度,从而使指挥人员下定决心的时间和参谋部反应的时间不断地减少。到目前为止,许多不同的工具例如文电、簿册... 详细信息

现在炮兵有一种先进的武器控制系统,足以大大提高射击的精度和速度。武器的改进、通信的现代化和战场的机动性,加快了战争的速度,从而使指挥人员下定决心的时间和参谋部反应的时间不断地减少。到目前为止,许多不同的工具例如文电、簿册和卡片等,常常习

关键词：野战炮兵键盘射击指挥中心 FADAC

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半导体工厂公用动力系统的能源互补再利用

洁净与空调技术 2012年第3期 60-65页

作者：严嵘上海华虹nec电子有限公司动力部

面对日益严峻的能源短缺,为实施国家提出的"节能减排"方针,华虹nec充分利用半导体工厂在冬季既有热负荷又有冷负荷的特殊需求,通过冷冻机热回收、CDA热回收、PCW热回收等节能技改措施,有效地实现了半导体工厂公用动力系统的能源互补再利... 详细信息

面对日益严峻的能源短缺,为实施国家提出的"节能减排"方针,华虹nec充分利用半导体工厂在冬季既有热负荷又有冷负荷的特殊需求,通过冷冻机热回收、CDA热回收、PCW热回收等节能技改措施,有效地实现了半导体工厂公用动力系统的能源互补再利用,达到了"双倍"的节能效果。

关键词：半导体工厂能源互补节能

半导体工厂废水氨氮处理的运行控制和工艺优化

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洁净与空调技术 2013年第4期 25-30页

作者：曹军华上海华虹-nec电子有限公司动力部

介绍生化法对半导体工厂废水中的氨氮进行处理的系统,主要对运行控制进行重点探讨,且对工艺优化提出初步设想。

关键词：氨氮排水生化系统硝化脱氮活性污泥法溶解氧

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远程监控在集成电路芯片制造工厂中的应用

工厂动力 2011年第3期 71-76页

作者：徐秉强上海华虹nec电子有限公司动力部

本文主要介绍集成电路芯片制造工厂包括具有高洁净度的大面积生产区和各种类型的公用动力系统的显着特点，应用全厂动力设施管理与控制的远程监控系统，实现对集成电路芯片制造工厂中的生产过程动力系统管理、用户管理、设备监控、数据... 详细信息

本文主要介绍集成电路芯片制造工厂包括具有高洁净度的大面积生产区和各种类型的公用动力系统的显着特点，应用全厂动力设施管理与控制的远程监控系统，实现对集成电路芯片制造工厂中的生产过程动力系统管理、用户管理、设备监控、数据显示和报警。

关键词：集成电路动力设施管理与控制系统(FMCS) 远程监控

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发展特色工艺,推动金卡工程

中国集成电路 2009年第12期18卷 70-73页

作者：张韦达上海华虹nec电子有限公司上海201206

国家金卡工程是我国信息化建设的四个起步工程之一,1994年由电子工业部牵头,会同邮电部、中国人民银行、内贸部、公安部、国家旅游局等部门联合组织在12个省市试点启动实施。为了配合国家金卡工程建设,华虹nec自2001年起不断地开发出独... 详细信息

国家金卡工程是我国信息化建设的四个起步工程之一,1994年由电子工业部牵头,会同邮电部、中国人民银行、内贸部、公安部、国家旅游局等部门联合组织在12个省市试点启动实施。为了配合国家金卡工程建设,华虹nec自2001年起不断地开发出独具特色的eNVM工艺,从0.35μm到目前的0.13μm工艺,华虹nec一直保持着eNVM技术的领先地位。已经成功地开发并生产出二代居民身份证、手机SIM卡、银行卡、社保卡等一系列智能卡产品,其中二代证和SIM卡的国内市场占有率都达到了70%以上,极大地推动了国家金卡工程快速发展,也为国家的信息化建设贡献了自己的力量。

关键词： eNVM-embedded non-volatile memory(嵌入式非挥发性存储器) SONOS-Silicon Oxide Nitride Oxide Silicon(一种先进的嵌入式非挥发性存储技术,与传统的浮栅工艺相比,可以向65nm甚至更先进的工艺发展) SIM卡-Subscriber Identity Module card(用户身份识别卡,手机只有在装入SIM卡后才能被使用)