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学科分类号

  • 2 篇 工学

主题

  • 2 篇 磁力悬浮
  • 2 篇 智能控制
  • 2 篇 涡轮分子泵
  • 2 篇 螺杆泵
  • 2 篇 工艺优化
  • 2 篇 能效
  • 2 篇 环境影响
  • 2 篇 真空镀膜
  • 2 篇 扩散泵
  • 2 篇 真空泵

机构

  • 2 篇 edwards gmbh
  • 1 篇 edwards ltd.
  • 1 篇 dr edwards ltd.

作者

  • 2 篇 vic cheetham
  • 2 篇 simon bruce
  • 2 篇 michael thompson
  • 2 篇 klaus dippold
  • 2 篇 franck merieux

语言

  • 2 篇 英文
检索条件"机构=Edwards GmbH"
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实现工业镀膜工艺优化和节能的智能真空系统
实现工业镀膜工艺优化和节能的智能真空系统
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引用
TFC'11全国薄膜技术学术研讨会
作者： Simon Bruce Vic Cheetham Klaus Dippold Franck Merieux Michael Thompson edwards Ltd. edwards gmbh
最新的一系列工业干式真空泵技术为镀膜工艺操作带来了节省大量能源的机会,并且在工作效率以及与镀膜设备控制系统集成的简便性方面设定了新标准。初级泵加机械增压泵的先进干式抽气泵组设计带来了非常低的能耗和噪音,同时能实现较高的... 详细信息
来源： cnki会议 评论
实现工业镀膜工艺优化和节能的智能真空系统
实现工业镀膜工艺优化和节能的智能真空系统
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引用
2013年广东省真空学会学术年会
作者： Simon Bruce Vic Cheetham Klaus Dippold Franck Merieux Michael Thompson Dr edwards Ltd. edwards gmbh
最新的一系列工业干式真空泵技术为镀膜工艺操作带来了节省大量能源的机会,并且在工作效率以及与镀膜设备控制系统集成的简便性方面设定了新标准。初级泵加机械增压泵的先进干式抽气泵组设计带来了非常低的能耗和噪音,同时能实现较高的... 详细信息
来源： cnki会议 评论
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