实现工业镀膜工艺优化和节能的智能真空系统
作者单位：Dr Edwards Ltd. Edwards GmbH
会议名称：《2013年广东省真空学会学术年会》
会议日期：2013年
学科分类：08[工学]
关 键 词：真空镀膜 真空泵 智能控制 涡轮分子泵 磁力悬浮 螺杆泵 扩散泵 能效 环境影响 工艺优化
摘 要：最新的一系列工业干式真空泵技术为镀膜工艺操作带来了节省大量能源的机会,并且在工作效率以及与镀膜设备控制系统集成的简便性方面设定了新标准。初级泵加机械增压泵的先进干式抽气泵组设计带来了非常低的能耗和噪音,同时能实现较高的抽真空性能和较小的安装尺寸,这不仅节省了安装空间和运行成本,而且这些可靠的设计意味着维修间隔时间也大大延长,在一些情况下两次维修间隔长达5年。此外,机载智能控制系统不仅采用智能开机和停机顺序米保护真空泵,而且采用了一系列模拟量和开关量信号控制方式,使得真空泵可以轻松的集成到镀膜设备控制系统当中,这样做的好处是在整个镀膜过程中实现了全面的灵活操作。在高真空泵方面,最新磁悬浮涡轮分子泵技术为需要超净环境的大型镀膜系统提供了更大的抽气速率;对于要求高净真空环境的小型专用镀膜系统,配备机载式控制模块的小型涡轮分子泵系列以非常小的整机尺寸实现必要的抽真空性能。本文探讨了选择应用于镀膜工艺的最优类型和配置的抽真空系统需要考虑的一些因素,以便最大程度提高能效和性能,并最大程度减少集成时间和拥有成本。