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集成电路CMP中金属腐蚀复配缓蚀剂的研究进展

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半导体技术 2025年第1期50卷 1-9页

作者：武峥牛新环何潮董常鑫李鑫杰胡槟李佳辉河北工业大学电子信息工程学院天津300130 天津市电子材料与器件重点实验室天津300130 河北省微电子超精密加工材料与技术协同创新中心天津300130 河北省微电子专用材料与器件工程中心天津300130

在化学机械抛光(CMP)过程中,集成电路金属多层布线因受抛光液中化学试剂的腐蚀而经常导致表面缺陷的出现。将两种及以上能够产生协同缓蚀效果的化学试剂复配可以得到较单一试剂更强的缓蚀性能。介绍了多试剂协同腐蚀抑制的机理,总结了... 详细信息

在化学机械抛光(CMP)过程中,集成电路金属多层布线因受抛光液中化学试剂的腐蚀而经常导致表面缺陷的出现。将两种及以上能够产生协同缓蚀效果的化学试剂复配可以得到较单一试剂更强的缓蚀性能。介绍了多试剂协同腐蚀抑制的机理,总结了国内外多试剂协同中两种缓蚀剂、表面活性剂与缓蚀剂、两种表面活性剂的复配协同在集成电路CMP金属腐蚀抑制应用中的研究进展,并延伸到碳钢金属等防腐领域,最后对CMP领域中多试剂协同抑制的发展进行了展望。

关键词：缓蚀剂表面活性剂化学机械抛光(CMP) 协同作用金属腐蚀抑制

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铝/钢固态焊接合界面金属间化合物生长机制

焊接学报 2019年第6期40卷 58-63,I0003,I0004页

作者：申中宝邱然锋石红信马恒波河南科技大学洛阳471023 有色金属共性技术河南省协同创新中心洛阳471003

在保持固态条件下,分别变化加热温度、时间对铝/Q235钢爆炸焊接头进行加热处理.分析了接合界面区反应层形貌等微观特征,探讨了加热温度、加热时间对反应层厚度的影响,研究了接合界面金属间化合物的生长行为.界面反应物是由靠近铝合金侧... 详细信息

在保持固态条件下,分别变化加热温度、时间对铝/Q235钢爆炸焊接头进行加热处理.分析了接合界面区反应层形貌等微观特征,探讨了加热温度、加热时间对反应层厚度的影响,研究了接合界面金属间化合物的生长行为.界面反应物是由靠近铝合金侧的反应物为Fe4Al13和靠近钢侧反应物为Fe2Al5构成.金属间化合物层随着加热时间的延长而变厚.结果表明,金属间化合物的生长满足抛物线法则,其生长激活能为33.26kJ/mol.

关键词：纯铝低碳钢生长机制

平顶山煤田岩溶地热水中稀土元素的分布特征及其影响因素

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河南理工大学学报（自然科学版） 2025年第1期44卷 88-99页

作者：李延河武占辉李洁祥于振子张波王心义平顶山天安煤业股份有限公司河南平顶山467099 河南理工大学资源环境学院河南焦作454000 煤炭安全生产与清洁高效利用省部共建协同创新中心河南焦作454000 河南理工大学矿业研究院河南焦作454000 中国平煤神马集团炼焦煤资源开发及综合利用国家重点实验室河南平顶山467099

目的为了探究华北型煤田深部岩溶地热水中稀土元素地球化学行为的指示意义,方法以平顶山煤田为例,通过野外调查取样,室内测试,再结合稀土元素配分模式分析和赋存形态模拟等手段,探究深层岩溶地热水中稀土元素(rare earth elements,REEs... 详细信息

目的为了探究华北型煤田深部岩溶地热水中稀土元素地球化学行为的指示意义,方法以平顶山煤田为例,通过野外调查取样,室内测试,再结合稀土元素配分模式分析和赋存形态模拟等手段,探究深层岩溶地热水中稀土元素(rare earth elements,REEs)的分布特征与迁移规律。结果结果表明,寒武系灰岩含水层中REEs质量浓度较低(0.054~0.244μg/L),沿径流路径呈下降趋势;稀土元素(post-archean Australian shale,PAAS)标准化配分模式表现为MREEs和HREEs相对富集,LREEs相对亏损,并且具有明显的Eu正异常和程度不一的Ce负异常,且Ce负异常程度和Eu正异常程度从补给区到排泄区呈降低趋势;水化学平衡软件MINTEQ 3.1模拟结果表明,地热水中REEs以Ln(CO_(3))^(2-)和Ln CO_(3)^(+)络合态为主,随原子序数增大或p H升高,Ln(CO_(3))^(2-)摩尔分数明显增大,而Ln CO_(3)^(+)摩尔分数依次递减,另外,地热水中还存在少量Ln SO_(4)^(+),Ln_(3)^(+),Ln HCO3^(2+),Ln F^(2+)和Ln(SO_(4))^(2-),其摩尔分数随原子序数增大依次减小,同时受地热水p H和HCO_(3)^(-),SO_(4)^(2-),F^(-)浓度共同控制;此外,岩溶地热水中还表现出明显的Y正异常和高ρ(Y)/ρ(Ho),可能与地热水富集Ca^(2+)有关。结论研究结果拓展了稀土元素在煤田水文地球化学研究中的应用,可为揭示矿区深部岩溶地热水补径排过程提供重要依据。

关键词：平顶山煤田岩溶地热水水化学稀土元素

热挤压对铸态Mg-1Zn-0.3Zr-1Y-2Sn镁合金组织和性能的影响

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稀有金属材料与工程 2023年第2期52卷 508-516页

作者：龚圆贺俊光文九巴冯武云郑向阳李欢河南科技大学材料科学与工程学院河南洛阳471023 有色金属协同创新中心河南洛阳471023

通过光学显微镜(OM)、扫描电镜(SEM)、浸泡实验、析氢实验、电化学试验、拉伸试验等方法,研究了不同挤压温度(340、360、380、400℃)下,热挤压对铸态Mg-1Zn-0.3Zr-1Y-2Sn合金组织和性能的影响。结果表明:热挤压后,合金的第二相沿挤压方... 详细信息

通过光学显微镜(OM)、扫描电镜(SEM)、浸泡实验、析氢实验、电化学试验、拉伸试验等方法,研究了不同挤压温度(340、360、380、400℃)下,热挤压对铸态Mg-1Zn-0.3Zr-1Y-2Sn合金组织和性能的影响。结果表明:热挤压后,合金的第二相沿挤压方向破碎成颗粒,微观组织中存在动态再结晶和变形晶粒。随着挤压温度的升高,第二相的含量变化较小,动态再结晶晶粒尺寸逐渐增大。热挤压后,合金的力学性能得到改善,但其耐腐蚀性最终减弱。热挤压处理可以在腐蚀的早期阶段提高合金的耐腐蚀性能,但随着腐蚀的进行,在后期合金的耐蚀性能会降低。当热挤压温度为360℃时,合金具有较好的力学性能和耐腐蚀性能。

关键词：生物镁合金热挤压耐蚀性能力学性能

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铜铝层状复合材料界面特性及深加工研究进展

材料导报 2018年第5期32卷 828-835页

作者：刘帅洋王爱琴吕世敬田捍卫河南科技大学材料学院洛阳471023 有色金属共性技术河南省协同创新中心洛阳471023

铜铝层状复合材料因其良好的综合性能而应用于众多领域,其深加工变形性能关系到复合材料的推广与发展。本文介绍了铜铝层状复合材料深加工性能研究现状,总结了深加工过程中复合材料宏观质量缺陷的成因与解决对策;综述了铜铝层状复合材... 详细信息

铜铝层状复合材料因其良好的综合性能而应用于众多领域,其深加工变形性能关系到复合材料的推广与发展。本文介绍了铜铝层状复合材料深加工性能研究现状,总结了深加工过程中复合材料宏观质量缺陷的成因与解决对策;综述了铜铝层状复合材料的界面特征、形成机理、界面层对铜铝复合板材变形性能的影响;从宏观和微观角度汇总了复合材料界面断裂失效机理;概括了复合材料深加工变形过程中界面结构演变规律;基于复合材料协同变形,提出了复合材料界面结构调控机制。文章还对铜铝层状复合材料深加工发展方向进行了展望。

关键词：铜铝复合材料协同变形界面特性深加工界面调控

藏北盐湖地区晚白垩世辉长岩:对班公湖‒怒江缝合带碰撞后拆沉作用的指示

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大地构造与成矿学 2024年第4期48卷 866-878页

作者：周高宇祁诚雪万牧钦吴浩黄煜奇李宾铭桂林理工大学有色金属矿产勘查与资源高效利用省部共建协同创新中心广西桂林541004 桂林理工大学广西有色金属隐伏矿床勘查及材料开发协同创新中心广西桂林541004

青藏高原中部班公湖-怒江缝合带的两侧在晚白垩世经历了大规模的岩浆活动,但其深部动力学机制至今仍存有较大争议。本文对藏北盐湖地区新识别出的辉长岩进行了系统的锆石U-Pb定年、原位Hf同位素以及全岩主微量元素分析,旨在为该缝合带... 详细信息

青藏高原中部班公湖-怒江缝合带的两侧在晚白垩世经历了大规模的岩浆活动,但其深部动力学机制至今仍存有较大争议。本文对藏北盐湖地区新识别出的辉长岩进行了系统的锆石U-Pb定年、原位Hf同位素以及全岩主微量元素分析,旨在为该缝合带的构造演化过程提供新的约束。分析结果显示,辉长岩形成于~100 Ma,其地球化学特征与洋岛玄武岩(OIB)相似,具有明显的Nb-Ta元素亏损,εHf(t)值介于6.60~8.33之间。这些特征表明,辉长岩具有板内基性岩的地球化学属性,是软流圈地幔部分熔融熔体混染地壳物质的产物。结合区域上近同期基性岩脉和大规模高Mg埃达克质岩浆活动,本文认为盐湖辉长岩的形成于碰撞后伸展环境,是拉萨-羌塘地块碰撞后增厚榴辉岩相下地壳拆沉过程中,深部软流圈地幔上涌减压熔融的产物。盐湖辉长岩的发现为青藏高原中部晚白垩世碰撞后增厚下地壳拆沉模型提供了岩石学上的证据。

关键词：班公湖-怒江缝合带晚白垩世辉长岩岩石成因拆沉作用

热冲击下Sn2.5Ag0.7Cu0.1RE0.05Ni/Cu钎焊接头组织与性能

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稀有金属材料与工程 2017年第5期46卷 1353-1358页

作者：张柯柯郭兴东王悔改河南科技大学河南洛阳471023 有色金属共性技术河南省协同创新中心河南省有色金属材料科学与加工技术重点实验室河南洛阳471023

借助于SEM、EDS、XRD等检测手段对Sn2.5Ag0.7Cu0.1RE0.05Ni/Cu钎焊接头进行观察分析,研究了钎焊工艺参数及热冲击条件对Sn2.5Ag0.7Cu0.1RE0.05Ni/Cu钎焊接头界面金属间化合物和力学性能的影响。结果表明:添加0.05%(质量分数)Ni能细化Sn2... 详细信息

借助于SEM、EDS、XRD等检测手段对Sn2.5Ag0.7Cu0.1RE0.05Ni/Cu钎焊接头进行观察分析,研究了钎焊工艺参数及热冲击条件对Sn2.5Ag0.7Cu0.1RE0.05Ni/Cu钎焊接头界面金属间化合物和力学性能的影响。结果表明:添加0.05%(质量分数)Ni能细化Sn2.5Ag0.7Cu0.1RE钎料合金的初生β-Sn相和共晶组织;钎焊温度270℃和钎焊时间240 s时,钎焊接头抗剪切强度最大达26.9 MPa,较未添加Ni的钎焊接头提高8.9%;随着热冲击周期的增加,钎焊接头界面金属间化合物层平均厚度增加,界面粗糙度先增大后减小,钎焊接头强度降低;添加0.05%Ni能够抑制接头界面金属间化合物的成长、钎焊接头强度的降低,有利于改善接头可靠性。

关键词： Sn2.5Ag0.7Cu0.1RE0.05Ni钎料热冲击钎焊界面金属间化合物剪切强度

均匀化热处理对新型Al-Cu-Li-Ce合金的微观结构的影响（英文）

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稀有金属材料与工程 2016年第7期45卷 1687-1694页

作者：余鑫祥尹登峰余志明张亦然李树飞中南大学2011有色金属先进结构材料与制造协同创新中心湖南长沙410083 烟台南山学院山东烟台265713

研究了一种添加Ce并具有高Cu/Li的新型Al-Cu-Li-Ce合金在双极均匀化热处理过程中微观结构的演化过程,并重点探讨了该合金中t1(Al8Cu4Ce)相的形成过程及其形成机制。在凝固过程中Ag,Mg富集的粗大的T_B(Al_7Cu_4Li)相和原生的Al Cu Ce相... 详细信息

研究了一种添加Ce并具有高Cu/Li的新型Al-Cu-Li-Ce合金在双极均匀化热处理过程中微观结构的演化过程,并重点探讨了该合金中t1(Al8Cu4Ce)相的形成过程及其形成机制。在凝固过程中Ag,Mg富集的粗大的T_B(Al_7Cu_4Li)相和原生的Al Cu Ce相共同形成。双极均匀化热处理后有2种类型的t1相出现。该相的形成模式包括,通过Ce不断的由Al基体向在T B相上新形核的t1相扩散并导致该粒子不断长大,以及原生的Al Cu Ce相通过不断缩水并伴随Cu,Ce向各个方向扩散,由之转变为细小弥散的t_1相。同时分析发现在合金凝固过程中产生的这种先析Al Cu Ce相,不但能够促进晶粒形核,同时能够阻止晶粒进一步长大,最终导致含铈的铸态合金晶粒得到细化。

关键词：新型Al-Cu-Li合金铈偏聚 t_1相均匀化

外能辅助下Sn2.5Ag0.7Cu0.1RE0.05Ni/Cu钎焊接头组织与性能

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稀有金属材料与工程 2018年第9期47卷 2800-2806页

作者：崔建国张柯柯赵迪马宁曹聪聪潘毅博河南科技大学河南洛阳471023 有色金属共性技术河南省协同创新中心河南省有色金属材料科学与加工技术重点实验室河南洛阳471023

采用SEM、EDS、XRD等方法研究了超声、电场外能辅助下Sn2.5Ag0.7Cu0.1RE0.05Ni/Cu钎焊接头的组织与性能。结果表明,借助于超声、超声-电场外能辅助能细化Sn2.5Ag0.7Cu0.1RE0.05Ni/Cu钎焊接头钎缝组织并使共晶组织比例增加,界面区金属间... 详细信息

采用SEM、EDS、XRD等方法研究了超声、电场外能辅助下Sn2.5Ag0.7Cu0.1RE0.05Ni/Cu钎焊接头的组织与性能。结果表明,借助于超声、超声-电场外能辅助能细化Sn2.5Ag0.7Cu0.1RE0.05Ni/Cu钎焊接头钎缝组织并使共晶组织比例增加,界面区金属间化合物(IMC)平均厚度、粗糙度和界面IMC颗粒尺寸减小。超声和电场外能辅助下Sn2.5Ag0.7Cu0.1RE0.05Ni/Cu钎焊接头强度与其界面IMC层粗糙度密切相关,超声的作用更为显著,在超声-电场外能辅助钎焊接头界面IMC层粗糙度降低中占主导作用,施加超声-电场外能辅助下钎焊接头剪切强度与传统钎焊相比提高24.1%;施加超声、超声-电场外能辅助使Sn2.5Ag0.7Cu0.1RE0.05Ni/Cu钎焊接头断裂途径由钎缝和界面IMC层组成的界面过渡区向钎缝侧迁移,呈界面(Cu,Ni)_6Sn_5 IMC解理和钎缝解理+韧窝的脆-韧混合型断裂机制,使接头剪切断口塑性区比例增加,从而提高接头剪切强度。

关键词： Sn2.5Ag0.7Cu0.1RE0.05Ni无铅钎料超声-电场外能钎焊接头组织性能