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蓝宝石衬底CMP中氧化硅磨粒粒度分布对抛光液体系性能影响研究

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表面技术 2024年第2期53卷 168-174,200页

作者：王晓剑李薇薇钟荣锋肖银波许宁徽孙运乾河北工业大学电子信息工程学院天津300401 广东惠尔特纳米科技有限公司广东东莞523000

目的化学机械抛光(CMP)包含化学腐蚀和机械磨削两方面,抛光液p H、磨粒粒径和浓度等因素均会不同程度地影响其化学腐蚀和机械磨削能力,从而影响抛光效果。方法采用30~150 nm连续粒径磨粒抛光液、120 nm均一粒径磨粒抛光液、50 nm和120... 详细信息

目的化学机械抛光(CMP)包含化学腐蚀和机械磨削两方面,抛光液p H、磨粒粒径和浓度等因素均会不同程度地影响其化学腐蚀和机械磨削能力,从而影响抛光效果。方法采用30~150 nm连续粒径磨粒抛光液、120 nm均一粒径磨粒抛光液、50 nm和120 nm配制而成的混合粒径磨粒抛光液,分别对蓝宝石衬底晶圆进行循环CMP实验,研究CMP过程中抛光液体系的变化。结果连续粒径磨粒抛光液中磨粒大规模团聚,满足高材料去除率的抛光时间仅有4 h,抛光后的晶圆表面粗糙度为0.665 nm;均一粒径磨粒抛光液中磨粒稳定,无团聚现象,抛光9 h内材料去除率较连续粒径磨粒抛光液高94.7%,能至少维持高材料去除率18 h,抛光后的晶圆表面粗糙度为0.204 nm;混合粒径磨粒抛光液初始状态下磨粒稳定性较高,抛光9 h内材料去除率较连续粒径磨粒抛光液高114.8%,之后磨粒出现小规模团聚现象,后9h材料去除率仅为均一粒径磨粒抛光液的59.6%,18 h内材料去除率仅为均一粒径磨粒抛光液的87.7%,但抛光后的晶圆表面粗糙度为0.151 nm。结论一定时间内追求较高的材料去除率和较好的晶圆表面粗糙度选用混合粒径磨粒抛光液,但需要长时间CMP使用均一粒径磨粒抛光液更适合,因此,在工业生产中需要根据生产要求配合使用混合粒径磨粒抛光液和均一粒径磨粒抛光液。

关键词：化学机械抛光蓝宝石抛光液磨粒微观形貌材料去除率

基于改进K-最近邻算法的变电站设备分类识别方法研究

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电测与仪表 2024年第10期61卷 50-56页

作者：罗金满梁浩波王莉娜刘卓贤肖啸广东电网有限责任公司东莞供电局信息中心广东东莞523000 南方电网深圳数字电网研究院有限公司广东深圳518053

针对变电站设备三维点云数据采集缺陷造成的场景重建精度低、效率差等问题,在对识别过程进行分析的基础上,提出了一种结合K-最近邻分类算法和改进粒子群算的变电站设备分类识别方法。使用改进的粒子群优化算法来优化K-最近邻分类器的输... 详细信息

针对变电站设备三维点云数据采集缺陷造成的场景重建精度低、效率差等问题,在对识别过程进行分析的基础上,提出了一种结合K-最近邻分类算法和改进粒子群算的变电站设备分类识别方法。使用改进的粒子群优化算法来优化K-最近邻分类器的输入权重,提高了设备的分类识别精度。通过仿真进行对比分析,验证该方法的优越性。结果表明,采用该方法的分类识别效果显著,训练准确率达到100%,测试准确率达到99%,与传统识别方法相比,识别准确率从97%提高到99%,平均识别时间从85.81 s降低到0.19 s。该方法解决了变电站设备三维点云数据采集缺陷造成的场景重建精度低、效率差、识别率低等问题,有效提高了变电站设备的分类识别效果,具有良好的实用价值和可操作性。

关键词：三维点云数据变电站设备分类识别 K-最近邻粒子群算法

菜籽油酶法脱胶工艺优化及其对脱胶油品质与组成的影响

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中国油脂 2024年

作者：姜碧若刘书成杨静媚刘玲玲毕艳兰中储粮油脂工业东莞有限公司河南工业大学粮油食品学院

菜籽油的胶杂组成复杂，常规水化脱胶难以令其达到280℃加热试验合格，为研究复合磷脂酶法脱胶的最优工艺以及其脱胶油与传统脱胶工艺脱胶油的组成与品质差异，以磷脂酶A1与磷脂酶A2为原料，对菜籽毛油进行脱胶处理，通过正交实验优化... 详细信息

菜籽油的胶杂组成复杂，常规水化脱胶难以令其达到280℃加热试验合格，为研究复合磷脂酶法脱胶的最优工艺以及其脱胶油与传统脱胶工艺脱胶油的组成与品质差异，以磷脂酶A1与磷脂酶A2为原料，对菜籽毛油进行脱胶处理，通过正交实验优化得到的最佳工艺为反应温度40℃、柠檬酸添加量0.15%、复合磷脂酶添加酶量200 U/100 g，A1:A2=1:1（v/v）、反应时间150 min，可将菜籽毛油磷含量降低至1.08 mg/kg，脱胶效率99.78%，此时，280℃加热试验合格。对比酶法脱胶油与水化、酸法脱胶油在质量指标、甘油酯组成、脂肪酸组成、磷脂组成及金属含量上的差异，结果发现：酶法脱胶油在磷（脂）含量显著低于水法、酸法脱胶油的同时，其脱胶油得率显著高于酸法脱胶油，金属元素的脱除效果与酸法脱胶相当，酶法脱胶前后菜籽油的脂肪酸组成无明显改变，符合国标要求。

关键词：酶法脱胶菜籽油品质分析磷脂组成

过氧化氢-硫酸体系铜箔微蚀工艺及其稳定剂筛选

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电镀与涂饰 2024年第10期43卷 56-63页

作者：曾祥健袁振杰周仲鑫潘湛昌胡光辉周勇胜邓贤江广东工业大学轻工化工学院广东广州510006 东莞康源电子有限公司广东东莞523932

[目的]过氧化氢-硫酸体系用于PCB(印制线路板)微蚀时存在过氧化氢易分解和微蚀速率过高的问题,研发适宜的稳定剂具有重要的意义。[方法]采用由过氧化氢、硫酸和铜离子组成的溶液对铜箔进行微蚀。先通过研究温度和各组分质量浓度对微蚀... 详细信息

[目的]过氧化氢-硫酸体系用于PCB(印制线路板)微蚀时存在过氧化氢易分解和微蚀速率过高的问题,研发适宜的稳定剂具有重要的意义。[方法]采用由过氧化氢、硫酸和铜离子组成的溶液对铜箔进行微蚀。先通过研究温度和各组分质量浓度对微蚀速率的影响以确定微蚀液的基础成分,然后设计了一系列不同组合的复配稳定剂,以获得适用于不同工艺需求的微蚀液。[结果]较佳的微蚀基础配方和工艺条件为:浓硫酸140 g/L,双氧水110 g/L,铜离子25 g/L,温度30℃,时间1 min。可选择以四羟丙基乙二胺(EDTP)和乙二胺四乙酸二钠(EDTA-2Na)为主成分,并适当添加磷酸二氢铵(DAP)、N-甲基二乙醇胺(DMEA)、2-氨基-2-甲基-1-丙醇(AMP)、三乙醇胺(TEA)、2-甲基咪唑(2-MI)和1,6-乙二醇(HDO)中的一种或多种作为辅助成分的复配稳定剂。[结论]本研究所得铜箔微蚀工艺具有微蚀速率及铜箔表面粗糙度、形貌可控的优点,能够满足不同的生产需求。

关键词：印制线路板铜箔微蚀过氧化氢硫酸稳定剂

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葡萄糖仿生纤维定性鉴别方法探讨

针织工业 2024年第1期 81-84页

作者：方方漆春一中联品检(东莞)检验技术有限公司广东东莞523900 广东职业技术学院广东佛山528000

为了找出定性鉴别葡萄糖仿生纤维的方法,选取手感目测、燃烧、显微镜观察、化学溶解、熔点法和红外光谱6种纤维定性鉴别方法,根据每种方法的特点选取4种纤维进行对比分析,尝试找出鉴别葡萄糖仿生纤维的简便方法。通过试验分析得出:葡萄... 详细信息

为了找出定性鉴别葡萄糖仿生纤维的方法,选取手感目测、燃烧、显微镜观察、化学溶解、熔点法和红外光谱6种纤维定性鉴别方法,根据每种方法的特点选取4种纤维进行对比分析,尝试找出鉴别葡萄糖仿生纤维的简便方法。通过试验分析得出:葡萄糖仿生纤维的鉴别需要结合色泽、纤维特殊燃烧现象、熔点差异和显微镜观察,可以将化学性能相近的聚乳酸纤维排除,选用二氯甲烷试剂或红外光谱法进行辅助确认,几种方法相互验证可以准确定性鉴别葡萄糖仿生纤维。

关键词：纤维鉴别葡萄糖仿生纤维燃烧法显微镜法溶解法熔点法红外光谱法

多孔陶瓷负载Ce-TiO_(2)光催化降解印染废水研究

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人工晶体学报 2024年第1期53卷 170-180页

作者：陈伟杰花开慧雷鸣王望龙东莞理工学院生态环境与建筑工程学院东莞523008 广东省城市生命线工程智慧防灾与应急技术重点实验室东莞523008 广东东实环境股份有限公司东莞523143

本文以建筑废弃物为主要原料,氧化铝为铝源,氟化铝为晶须催化剂,氧化硼、氧化铈、三氧化钼为烧结助剂,玉米淀粉为造孔剂,采用干压成型法制备了莫来石多孔陶瓷,研究了氧化铈和三氧化钼掺量对莫来石多孔陶瓷结构及理化性能的影响,并以性... 详细信息

本文以建筑废弃物为主要原料,氧化铝为铝源,氟化铝为晶须催化剂,氧化硼、氧化铈、三氧化钼为烧结助剂,玉米淀粉为造孔剂,采用干压成型法制备了莫来石多孔陶瓷,研究了氧化铈和三氧化钼掺量对莫来石多孔陶瓷结构及理化性能的影响,并以性能最佳的陶瓷负载TiO_(2)/Ce-TiO_(2)进行光催化降解模拟印染废水研究。结果表明:以质量分数计,当氧化铈掺量为4%、三氧化钼掺量为1%时,多孔陶瓷的抗折强度为8.69 MPa,开口孔隙率为64.25%;负载0.05 g Ce-TiO_(2)催化剂,掺入1.2 mmol/L的PMS,在功率为18 W、波长为420~430 nm的LED可见光灯照射120 min后,其对亚甲基蓝溶液降解率达到96.62%。

关键词：多孔陶瓷莫来石晶须可见光催化降解异质结印染废水

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狮子洋复合通道新联互通改扩建方案设计

公路 2024年第7期69卷 73-77页

作者：祁巍王龙东莞市路桥投资建设有限公司东莞市523119 中交第二公路勘察设计研究院有限公司武汉市430056

新联互通为常虎高速虎门港支线、狮子洋通道与广深高速之间交通流转换的枢纽型互通立交。近期常虎高速与广深高速基本同步进行改扩建,现状互通不能满足远期交通需求。通过预测交通量分析,结合周边控制性因素等,经多方案比选和论证,确定... 详细信息

新联互通为常虎高速虎门港支线、狮子洋通道与广深高速之间交通流转换的枢纽型互通立交。近期常虎高速与广深高速基本同步进行改扩建,现状互通不能满足远期交通需求。通过预测交通量分析,结合周边控制性因素等,经多方案比选和论证,确定了互通改扩建方案。

关键词：高速公路枢纽互通改扩建

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村镇银行金融风险控制及其防范探讨

活力 2024年第16期 172-174页

作者：卢锦标东莞银行股份有限公司东莞523000

村镇银行在农村经济发展中发挥着重要的作用,近年来伴随着农村建设的不断发展,村镇银行的规模与数量也在不断增加,其金融体系日益完善,能够为农村经济提供良好的支持。但村镇银行发展中也面临着如信用风险、经营风险、市场风险等金融风... 详细信息

村镇银行在农村经济发展中发挥着重要的作用,近年来伴随着农村建设的不断发展,村镇银行的规模与数量也在不断增加,其金融体系日益完善,能够为农村经济提供良好的支持。但村镇银行发展中也面临着如信用风险、经营风险、市场风险等金融风险类型,在实际工作中为更好地发挥村镇银行的作用,需要关注各类金融风险的产生原因,并对其控制与防范策略进行研究。文章从村镇银行常见风险类型及其发生原因入手,对村镇银行金融风险控制及防范措施进行研究。

关键词：村镇银行金融风险

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自动化研磨技术在机械抛光精加工中的实践

现代制造技术与装备 2024年第7期60卷 218-220,224页

作者：丁建东莞市春草研磨科技有限公司东莞523700

随着我国现代工业化水平的不断提高,自动化研磨技术在机械抛光精加工领域的应用成为工业制造业发展的重要趋势。自动化研磨技术是一种结合信息化、智能化与自动化控制的新型工艺,融合了磨削过程控制、表面质量检测与机器人设计等多项技... 详细信息

随着我国现代工业化水平的不断提高,自动化研磨技术在机械抛光精加工领域的应用成为工业制造业发展的重要趋势。自动化研磨技术是一种结合信息化、智能化与自动化控制的新型工艺,融合了磨削过程控制、表面质量检测与机器人设计等多项技术内容,在机械抛光精加工过程中主要应用于表面抛光、精密研磨以及工艺优化等领域,推动了机械制造系统的进一步优化升级,实现了对机械设备的高效精细加工。基于此,简要概述自动化研磨技术的内涵,分析机械抛光精加工中的自动化研磨技术,提出自动化研磨技术在机械抛光精加工中的实践应用,以推进工业制造产业的智能化和精细化发展。

关键词：自动化研磨技术机械抛光精加工磨削过程控制表面质量检测