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基于匀光管的极紫外消相干和光强均匀化仿真研究

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物理学报 2024年第11期73卷 133-144页

作者：李慧谭芳蕊尹皓玉马钺洋吴晓斌中国科学院微电子研究所光电技术研发中心北京100029 中国科学院大学北京100049

自由电子激光光源(free electron laser,FEL)可发出波长为13.5 nm的极紫外(extreme ultra-violet,EUV)辐射,在EUV光刻领域能够发挥重要作用.但FEL自身的高相干特性以及类高斯光强轮廓分布特征,会对成像带来不利影响,无法满足EUV光刻领... 详细信息

自由电子激光光源(free electron laser,FEL)可发出波长为13.5 nm的极紫外(extreme ultra-violet,EUV)辐射,在EUV光刻领域能够发挥重要作用.但FEL自身的高相干特性以及类高斯光强轮廓分布特征,会对成像带来不利影响,无法满足EUV光刻领域成像应用需求.本文通过计算模拟的方法,设计了一种匹配FEL应用的、用于EUV波段去相干和光强均匀化的新型匀光管结构.模拟结果显示,针对波长为13.5 nm、直径200μm、发散度20 mrad的FEL-EUV高斯光束,采用新型匀光管结构,与常规匀光管结构相比,在同等长度和内径时,具有更显著的去相干能力和光场均匀化作用.当新型匀光管内径为1 mm、总长度不低于0.6 m、倾斜角度为10 mrad时,高相干光场完全被扰乱,实现低相干光输出.并可获得均匀照明光场,光强分布不均匀性数值从常规圆柱型匀光管的28.38降低至0.97.同时,相应能量传输效率为37.6%,最大传输效率达到44.58%.结果表明,新型匀光管结构能够满足EUV辐射去相干应用需求,同时可提高照明视场光强分布均匀性,在EUV光刻领域及其他成像应用具有很大应用前景.

关键词：极紫外光源自由电子激光匀光管相位光强均匀性

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基于PSD的六自由度位移测量解耦方法研究

红外与激光工程 2024年第5期53卷 105-116页

作者：付文江卢增雄吴晓斌黄宇峰高斌陈学同中国科学院微电子研究所光电技术研发中心北京100029 中国科学院大学北京100049

基于位置敏感探测器(Position Sensitive Detector,PSD)的六自由度(6 Degree of Freedom,6DOF)位移测量对紧凑空间内精密位移台初始位置和姿态的精密测量具有重要作用。精密位移台位移与PSD上光斑位移之间非线性关系的解耦是实现精密位... 详细信息

基于位置敏感探测器(Position Sensitive Detector,PSD)的六自由度(6 Degree of Freedom,6DOF)位移测量对紧凑空间内精密位移台初始位置和姿态的精密测量具有重要作用。精密位移台位移与PSD上光斑位移之间非线性关系的解耦是实现精密位移台亚微米及微弧度位移测量精度的关键。根据PSD与6DOF精密位移台上角锥棱镜之间的位置关系,构建了6DOF位移测量方案,建立了6DOF位移台位移与PSD上光斑位移之间的精确对应关系模型,采用数值计算法对该模型进行解耦求解,并与小角度近似法进行了对比分析。结果表明,当6DOF位移台单自由度位移范围为±10 mm和±10 mrad时,数值计算法引入的解算误差最大值为10^(-17)mm和10^(-15)~10^(-16)mrad量级,而小角度近似法引入的解算误差最大值为5.39μm和35.5μrad;在此基础上,采用蒙特卡洛法以随机均匀分布方式产生10000组六自由度位移进行分析,表明数值计算法引入的解算误差平均值为10^(-17)mm和10^(-17)mrad量级,而小角度近似法引入的解算误差平均值为10^(-3)~10^(-6)mm和10^(-5)mrad量级,其中z方向解算误差达到4.4μm,R_(x)和R_(y)方向解算误差达到28μrad,故小角度近似法无法满足上述位移测量精度要求。所提出的基于数值计算法的解耦方法对实现6DOF位移台的高精度位移测量具有重要意义。

关键词：六自由度位移测量位置敏感探测器理论建模数值计算法小角度近似法

基于归一化的高精度EUV反射率测试技术研究

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中国激光 2024年第7期51卷 196-202页

作者：张良乐韩晓泉谢婉露吴晓斌方旭晨高梓翔沙鹏飞王魁波中国科学院微电子研究所光电技术研发中心北京100029 中国科学院大学北京100049

基于使用气体放电等离子体(DPP)极紫外(EUV)光源自研的小型反射率测试装置,分析了DPP光源参数及不同型号探测器对反射率测试的影响,提出了一种能量归一化的反射率测试方法,并测试了13.5 nm波长下Mo/Si多层膜反射镜的反射率特性。研究结... 详细信息

基于使用气体放电等离子体(DPP)极紫外(EUV)光源自研的小型反射率测试装置,分析了DPP光源参数及不同型号探测器对反射率测试的影响,提出了一种能量归一化的反射率测试方法,并测试了13.5 nm波长下Mo/Si多层膜反射镜的反射率特性。研究结果表明:在相同光源参数下,SXUV100型探测器的极紫外能量探测性能优于AXUV100G型;通过归一化使光能量波动对反射率测试光束的波动误差从6.2%降低到0.64%,多层膜反射镜的峰值反射率的测量重复性从4.34%提高到0.69%,与国外同等实验装置精度相当,实现了高精度反射率测试,可为极紫外光刻机的光学元件提供反射率测试。

关键词：极紫外气体放电等离子体光源反射率能量探测归一化

近红外强激光与反射式全息平面衍射光栅的交织发展

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中国激光 2024年第11期51卷 480-499页

作者：晋云霞韩昱行曹红超孔钒宇邵建达中国科学院上海光学精密机械研究所薄膜光学研发中心上海201800

强激光领域目前正处于取得重大突破和开拓应用的关键阶段,尤其以面向高峰值功率的超强超短激光和高平均功率的高能连续激光为代表。近五年来,国内外基于啁啾脉冲放大及其衍生技术的超强超短激光大科学装置已经突破十拍瓦量级峰值功率,... 详细信息

强激光领域目前正处于取得重大突破和开拓应用的关键阶段,尤其以面向高峰值功率的超强超短激光和高平均功率的高能连续激光为代表。近五年来,国内外基于啁啾脉冲放大及其衍生技术的超强超短激光大科学装置已经突破十拍瓦量级峰值功率,数百千瓦平均功率高能光谱合束连续激光装备已交付使用,其中反射式全息平面衍射光栅作为当前强激光技术发展的关重件,中国科学院上海光学精密机械研究所在最大口径脉冲压缩光栅和高性能合束光栅研制方面领先国际;未来五年,国际范围内百拍瓦超强超短激光装置建设任务将陆续上线、高能连续激光也将一举迈向新台阶,由此拉动千亿级行业的发展,其中高性能衍射光栅的支撑和功率引领作用不可替代。综述了强激光与反射式全息平面衍射光栅的交织发展,重点介绍国内外金属型和全介质型光栅的研究进展,并展望了追逐新时代强激光之旅中光栅领域面临的新任务及其挑战。

关键词：超强超短激光高能连续激光脉冲压缩光栅合束光栅强激光衍射光栅

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稻米油及其γ-谷维素营养的研究进展

粮油食品科技 2024年第5期32卷 84-92页

作者：张伟君朱振南马一玮顾杰王勇姜元荣丰益(上海)生物技术研发中心有限公司上海200137

我国稻米资源丰富,其加工产物稻米油(RBO)不仅脂肪酸组成均衡,还富含γ-谷维素、植物甾醇、维生素E等脂质伴随物,对人体健康十分有益。对稻米油及其γ-谷维素营养研究进展进行检索分析,阐述了稻米油及其γ-谷维素在血脂、血糖、情绪/睡... 详细信息

我国稻米资源丰富,其加工产物稻米油(RBO)不仅脂肪酸组成均衡,还富含γ-谷维素、植物甾醇、维生素E等脂质伴随物,对人体健康十分有益。对稻米油及其γ-谷维素营养研究进展进行检索分析,阐述了稻米油及其γ-谷维素在血脂、血糖、情绪/睡眠、肌肉力量/运动表现、免疫调节等方面的营养功效及潜在机制,其中关于RBO对血脂影响的临床研究最多,食用RBO可能有效改善成人受试者的脂质参数,降低血脂异常/高脂血症风险,以预防和控制心血管疾病。为整体了解稻米油及γ-谷维素营养特性及潜在应用价值,未来需进一步探索RBO在不同人群中健康效应及作用机制。

关键词：稻米油脂质伴随物 γ-谷维素营养功效应用

烹饪温度对牦牛肉蛋白质氧化和体外消化特性的影响

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食品科学 2024年第2期45卷 9-16页

作者：张燕李升升赵立柱张强龙青海大学畜牧兽医科学院青海西宁810000 国家牦牛肉加工专业技术研发中心青海西宁810000

将牦牛肉烹饪至不同中心温度(40、50、60、70、80℃)后,对其肌原纤维蛋白进行模拟体外胃肠消化实验,并测定其肌原纤维蛋白的消化率以及消化前后的总羰基含量、总巯基含量、Schiff碱含量等指标,还利用紫外吸收光谱、内源荧光光谱以及十... 详细信息

将牦牛肉烹饪至不同中心温度(40、50、60、70、80℃)后,对其肌原纤维蛋白进行模拟体外胃肠消化实验,并测定其肌原纤维蛋白的消化率以及消化前后的总羰基含量、总巯基含量、Schiff碱含量等指标,还利用紫外吸收光谱、内源荧光光谱以及十二烷基硫酸钠-聚丙烯酰胺凝胶电泳(sodium dodecyl sulfate-polyacrylamide gel electrophoresis,SDS-PAGE)分析蛋白样品,探究牦牛肉蛋白质在胃肠消化过程中的氧化及消化规律。经胃、肠消化后,中心温度为60℃的牦牛肉总蛋白酶水解率最高(88.64%)。与原料肉相比,中心温度为80℃的牦牛肉蛋白质胃蛋白酶水解率和总蛋白酶水解率分别降低了34.10%和22.47%,胰蛋白酶水解率提高了75.34%;其经胃、肠消化后的总羰基含量与原料肉相比分别升高了81.42%和77.40%,总巯基含量分别降低了30.02%和36.43%。随着中心温度升高,Schiff碱含量逐渐增大,紫外吸收光谱的吸光度显著增强,内源荧光光谱的荧光强度显著降低,SDS-PAGE图谱显示经消化后蛋白质发生严重降解至条带消失。结果表明:中心温度为60℃时牦牛肉的消化率最高,80℃时牦牛肉的蛋白质氧化程度最强,在胃肠消化过程中进一步加剧。

关键词：牦牛肉烹饪温度蛋白质氧化消化性

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超高密度光存储研究进展

中国激光 2024年第11期51卷 410-424页

作者：阮昊胡巧赵苗中国科学院上海光学精密机械研究所光芯片集成研发中心上海201800 中国科学院大学北京100049

当前,全球数据量正处在爆发式增长阶段,为光存储领域带来了巨大的发展机遇。受光学衍射极限的制约,传统光存储技术的密度难以满足海量数据的存储需求。为了提升光存储密度,人们开发了三维空间、偏振、波长等多维信息复用技术,同时,随着... 详细信息

当前,全球数据量正处在爆发式增长阶段,为光存储领域带来了巨大的发展机遇。受光学衍射极限的制约,传统光存储技术的密度难以满足海量数据的存储需求。为了提升光存储密度,人们开发了三维空间、偏振、波长等多维信息复用技术,同时,随着纳米技术的发展,现已突破衍射极限实现超分辨纳米信息存储。本文介绍了超高密度光存储领域的发展现状,总结了多维信息复用技术和超分辨光存储技术的代表性研究成果,梳理了不同技术方案可提升存储密度的理论极限。此外,本文还介绍了本课题组基于双光束超分辨光存储技术实现单盘拍比特(Pb)存储量级的最新研究进展,并展望了超高密度光存储面向大数据应用的挑战和发展趋势。

关键词：光数据存储超高密度多维信息复用超分辨光存储技术

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药物发现中的人工智能

张江科技评论 2024年第1期 6-9页

作者：毛火华裴奕钦上海科学院技术研发中心

在药理学研究中,从药物研发的早期阶段到临床实践的各个环节,人工智能(AI)都发挥着重要的作用。在药物发现与设计方面,AI通过分析大量的化学、生物学数据,能够加速药物分子的筛选和设计,有助于寻找潜在的候选药物。在药物代谢动力学研... 详细信息

在药理学研究中,从药物研发的早期阶段到临床实践的各个环节,人工智能(AI)都发挥着重要的作用。在药物发现与设计方面,AI通过分析大量的化学、生物学数据,能够加速药物分子的筛选和设计,有助于寻找潜在的候选药物。在药物代谢动力学研究方面。

关键词：药物代谢动力学药物研发药物分子生物学数据临床实践早期阶段

油脂诱导时间IP值作为指标评估二次精炼棕榈油热稳定性的应用研究

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中国油脂 2024年

作者：徐振波夏天梁俊梅丰益(上海)生物技术研发中心有限公司

利用Rancimat法得到的油脂氧化稳定指数（OSI）是测试油脂氧化稳定性的重要评价方法，本研究以二次精炼棕榈液油为研究模型，选用温度120 ℃、气流量20 L/h为条件测试得到油脂诱导时间（IP值），分别进行了烘箱60 ℃加速实验以及高温170... 详细信息

利用Rancimat法得到的油脂氧化稳定指数（OSI）是测试油脂氧化稳定性的重要评价方法，本研究以二次精炼棕榈液油为研究模型，选用温度120 ℃、气流量20 L/h为条件测试得到油脂诱导时间（IP值），分别进行了烘箱60 ℃加速实验以及高温170 ℃加热实验，考察了通过IP值作为关键指标是否可以用于预判评估油脂热稳定性。结果表明：二次精炼棕榈液油的IP值与烘箱加速氧化速率存在一定关系：以本实验所涉及到的样品为例，当测试时油样过氧化值（PV）低于0.34 mmol/kg时，IP值与烘箱加速氧化速率强负相关，Person相关性系数达为-0.71，但当PV高于0.34 mmol/kg时测试得到的IP值与加速氧化速率没有显著相关性，Person相关性系数仅有-0.067；通过煎炸温度下持续加热实验监测煎炸过程中关键指标极性物质（TPC）与酸价（AV）发现，IP值存在显著高低差异的油脂在加热过程中TPC上升速率、AV上升速率以及整体使用寿命均没有显著差异（P＞0.05）。因此油脂诱导时间IP值并不能对该油脂在高温过程中的使用性能进行预判。

关键词：二次精炼棕榈油氧化稳定性油脂诱导时间热稳定性