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先进激光用于图形化加工基底的技术与应用

激光与光电子学进展 2025年

作者：王嘉祥何谷峰臧法珩孙云娜杨卓青郭小军上海交通大学集成电路学院上海交通大学微米纳米加工技术全国重点实验室

近年来，随着高性能计算、人工智能技术和智能汽车等新兴领域的蓬勃发展，对图形化技术的高分辨率和无接触加工的需求不断增加。利用先进激光进行烧蚀基底图形化逐渐成为实现电子设备小型化和高集成化的重要手段。本文首先介绍了利用先... 详细信息

近年来，随着高性能计算、人工智能技术和智能汽车等新兴领域的蓬勃发展，对图形化技术的高分辨率和无接触加工的需求不断增加。利用先进激光进行烧蚀基底图形化逐渐成为实现电子设备小型化和高集成化的重要手段。本文首先介绍了利用先进激光图形化技术对有机物基底、无机物基底等不同材料进行加工的研究进展，具体讨论了不同激光在不同材料基底上的加工效果。随后，综述了先进激光图形化技术在玻璃通孔（Through Glass Via,TGV）先进封装技术、柔性传感器、微流控器件以及微纳光学和谐振类器件等领域的应用方法及效果。最后，对未来先进激光图形化技术的发展进行了展望，为相关领域的研究者提供参考。

关键词：先进激光图形化技术高分辨率烧蚀微米纳米加工

MBE同质外延生长Sn掺杂β-Ga2O3（010）薄膜的电子输运性质研究

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人工晶体学报 2025年

作者：张子琦杨珍妮况思良魏盛龙徐文静陈端阳齐红基张洪良厦门大学化学化工学院固体表面物理化学国家重点实验室杭州光学精密机械研究所中国科学院上海光学精密机械研究所强激光材料重点实验室

本文研究了利用分子束外延技术生长的非故意掺杂（UID）和锡掺杂的β-Ga2O3同质外延薄膜的电子输运性质。薄膜载流子浓度范围为3.2×1016至2.9×1019cm-3，载流子浓度为3.2×1016cm-3的非故意掺杂薄膜显示出优异的室温迁移率，为125 cm2... 详细信息

本文研究了利用分子束外延技术生长的非故意掺杂（UID）和锡掺杂的β-Ga2O3同质外延薄膜的电子输运性质。薄膜载流子浓度范围为3.2×1016至2.9×1019cm-3，载流子浓度为3.2×1016cm-3的非故意掺杂薄膜显示出优异的室温迁移率，为125 cm2·V-1·s-1，在80 K时的峰值迁移率为875 cm2·V-1·s-1，达到了当前MBE生长的Ga2O3薄膜的先进水平。利用温度相关霍尔测试表征同质外延薄膜的电子输运性质，计算得到锡掺杂剂的激活能为76.2 meV。通过散射模型的拟合计算，分析了这一系列同质外延薄膜的电子散射性质，在低温到高温过程中，来自本征缺陷的电离杂质散射及晶体中阴阳离子库仑力的极性光学声子（POP）散射限制了迁移率的增长。

关键词： β-Ga O 外延薄膜掺杂激活能迁移率输运性质

超短脉冲激光切割设备中mark点形状选择对振镜标定精度的影响研究

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应用激光 2021年第3期41卷 583-589页

作者：黄羲凌刘昆王丽汪于涛张磊骆公序上海市激光技术研究所上海市激光束精细加工重点实验室上海200233

采用振镜进行加工的激光切割设备,为了提高切割精度,首先需要对振镜进行标定,通行的标定方法是使用振镜在金属片或其他刚性材料上切割出一组具有固定图案(通常被称作mark点)的阵列,然后用相机逐一读取该阵列中每个图案的具体位置,据此... 详细信息

采用振镜进行加工的激光切割设备,为了提高切割精度,首先需要对振镜进行标定,通行的标定方法是使用振镜在金属片或其他刚性材料上切割出一组具有固定图案(通常被称作mark点)的阵列,然后用相机逐一读取该阵列中每个图案的具体位置,据此计算校正网格并实施校正。圆形和十字形是两种最常使用的mark点形状。对这两种mark点对振镜标定精度的影响进行了对比试验,结果表明,圆形mark点标定的精度更好。在平台重复定位标准差约为1μm的情况下,圆形mark点标定后的振镜平均误差为1.99μm,标准差为1.09μm;十字形mark点标定后的振镜平均误差为2.95μm,标准差为1.60μm。

关键词：振镜 mark点形状误差精度

面向极紫外光刻光源液滴锡靶的光学测量与检测进展

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激光与光电子学进展 2025年

作者：付轹文林楠中国科学院大学前沿交叉科学学院中国科学院上海光学精密机械研究所超强激光科学与技术重点实验室中国科学院上海光学精密机械研究所精密光学工程部

在高端芯片制造领域，极紫外（EUV）光刻机已成为集成电路大规模量产不可或缺的设备，也是未来制程持续发展的保障。激光等离子体（LPP）-EUV光刻光源是EUV光刻机的关键分系统，其核心之一就是液滴锡靶生成器。它需以特定频率稳定、连... 详细信息

在高端芯片制造领域，极紫外（EUV）光刻机已成为集成电路大规模量产不可或缺的设备，也是未来制程持续发展的保障。激光等离子体（LPP）-EUV光刻光源是EUV光刻机的关键分系统，其核心之一就是液滴锡靶生成器。它需以特定频率稳定、连续地产生尺寸一致、间距均匀的锡液滴，从而在激光轰击后获得稳定且高效的转换效率（CE）。因此，面向液滴锡靶的测量与检测在研究锡液滴生成机制以及液滴与激光的作用过程方面是必需的。其对于开发LPP-EUV光源，提升液滴质量、提高光能CE、减少碎屑生成、保证光源稳定具有重要意义。光学量测作为主要的测量与检测手段，目前尚缺少系统性总结。本文综述了EUV光源液滴锡靶光学测量与检测的核心指标、关键需求与技术发展现状，详细分析了主流测量技术和检测系统的特点，旨在为搭建液滴锡靶系统乃至LPP-EUV光源相关研究提供技术参考和支持。

关键词：极紫外光源液滴锡靶光学量测阴影成像激光触发检测

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紫外激光双光头精细加工系统及其应用

应用激光 2011年第4期31卷 279-284页

作者：姜兆华张伟潘涌骆公序沈冠群上海市激光技术研究所上海200233 上海市激光束精细加工重点实验室上海200233

采用355 nm波长、高重复频率、短脉冲DPSS紫外激光器作为光源,开发了激光精细加工装备,具有光束高速旋转打孔和光束偏转扫描加工两种不同的加工方式,两种加工方式可便捷切换,满足不同量级孔径的高质量激光精细加工需求。设计了专用的接... 详细信息

采用355 nm波长、高重复频率、短脉冲DPSS紫外激光器作为光源,开发了激光精细加工装备,具有光束高速旋转打孔和光束偏转扫描加工两种不同的加工方式,两种加工方式可便捷切换,满足不同量级孔径的高质量激光精细加工需求。设计了专用的接近衍射极限的紫外光束旋转聚焦物镜和远心扫描透镜,保证了加工质量。

关键词：光束旋转光束偏转扫描 DPSS激光器激光精细加工微孔加工衍射极限远心扫描透镜

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超强度纤维柔性复合材料激光加工工艺研究

应用激光 2012年第3期32卷 238-243页

作者：张玲玲姜兆华张伟潘涌王健超韩华上海市激光技术研究所上海200233 上海市激光束精细加工重点实验室上海200233

阐述了激光加工超强度纤维柔性复合材料的优势,并以激光与超强度纤维柔性复合材料的相互作用机理为基础,对激光加工纤维复合材料的特点、影响激光加工质量的因素以及激光加工质量评估的研究进展进行了综述。最后指出,无论是减少热影响区... 详细信息

阐述了激光加工超强度纤维柔性复合材料的优势,并以激光与超强度纤维柔性复合材料的相互作用机理为基础,对激光加工纤维复合材料的特点、影响激光加工质量的因素以及激光加工质量评估的研究进展进行了综述。最后指出,无论是减少热影响区域,还是改善加工表面质量,对利用理论模型优化加工参数、复杂轮廓和精细加工的工艺以及激光加工后对超强度纤维柔性复合材料性能的影响等方面的研究需要倍受重视。

关键词：激光切割水刀切割超强度纤维柔性复合材料质量评估

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无油墨印刷包装材料激光制版的研究

应用激光 2004年第4期24卷 210-212页

作者：姜兆华沈冠群张伟吴宾初李鉴煌蔡康泽上海市激光技术研究所上海市激光束精细加工重点实验室上海200233

本文介绍了生产具有自主知识产权的大尺寸激光动感像素全息的设备及配套工艺。可用于生产防伪塑料薄膜, 纸和其他包装材料。我们成功地解决了全息行业宽幅模压生产所需的大幅面整版制版技术问题,弥补了因小单元图案拼版而引起的干涉条... 详细信息

本文介绍了生产具有自主知识产权的大尺寸激光动感像素全息的设备及配套工艺。可用于生产防伪塑料薄膜, 纸和其他包装材料。我们成功地解决了全息行业宽幅模压生产所需的大幅面整版制版技术问题,弥补了因小单元图案拼版而引起的干涉条纹失真,转移效率低,拼缝等缺陷,也解决了宽幅母版制作及包装用大幅面图案制作中的实用化工艺。

关键词：制版技术印刷油墨包装用包装材料大幅面拼版生产行业失真

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激光加工的最新应用领域

应用激光 2005年第5期25卷 329-332页

作者：王又良上海市激光技术研究所上海市激光束精细加工重点实验室上海200233

介绍近年来国际激光加工作为先进制造技术在各个行业、产业应用中的发展趋势。同时,对各种新颖的全固态激光器,包括半导体泵浦固体激光及其倍频技术、高重复频率超短脉冲UV固体激光精细微加工技术。

关键词：微通道PCB打孔激光加工塑料焊接光纤激光器船舶制造

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单泵浦超连续光纤激光器的研究

应用激光 2007年第2期27卷 124-128页

作者：王健超上海市激光技术研究所上海市激光束精细加工重点实验室上海200233

超连续光纤光源是近年来光通信领域最重要的研究成果之一,也是最近几年得到国内外广泛研究的一种新型多波长光源。这种光源在常温下可以得到稳定的多波长输出,并具有噪声低、带宽范围大、性能稳定、易于控制等优点,成为密集波分复用(DW... 详细信息

超连续光纤光源是近年来光通信领域最重要的研究成果之一,也是最近几年得到国内外广泛研究的一种新型多波长光源。这种光源在常温下可以得到稳定的多波长输出,并具有噪声低、带宽范围大、性能稳定、易于控制等优点,成为密集波分复用(DWDM)系统的多波长光源研究中的热点。本文介绍了多波长超连续光纤光源中涉及到的各种器件的原理和功能。详细描述了整个实验过程,通过对各个部件的选择,对各个环节的调节测试,以及几次方案的修改,最终将多波长光源调到比较好的效果。实现了频谱的展宽和多波长的输出,稳定和功率是制约这个实验结果的主要原因。

关键词：超连续光源锁模多波长