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  • 1 篇 工学
    • 1 篇 机械工程

主题

  • 1 篇 quality factor
  • 1 篇 aluminum nitride
  • 1 篇 microcantilever
  • 1 篇 torsional mode

机构

  • 1 篇 national univers...
  • 1 篇 saarland univers...

作者

  • 1 篇 dara feili
  • 1 篇 邱华诚
  • 1 篇 吴学忠
  • 1 篇 helmut seidel

语言

  • 1 篇 英文
检索条件"主题词=torsional mode"
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Resonance-mode effect on piezoelectric microcantilever performance in air,with a focus on the torsional modes
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Chinese Physics B 2014年 第2期23卷 481-485页
作者： 邱华诚 Dara Feili 吴学忠 Helmut Seidel Saarland University Chair of MicromechanicsMicrofluidics/Microactuators66123 Saarbrücken National University of Defense Technology College of Mechanical Engineering and Automation
A high quality factor is preferred for a microresonator sensor to improve the sensitivity and resolution. In this paper we systematically investigate the performance of the microcantilever in different resonance modes... 详细信息
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