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Silicon micro-structuring using ultra-short laser pulses
Silicon micro-structuring using ultra-short laser pulses
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Photonics Asia 2004;Optics and Lasers
作者： Jingtao Zhua, Wen Lib, Ming Zhaoa, Gang Yina, Xiao Chena, Deying Chenc and Li Zhaoa* asurface Physics Laboratory (National Key Laboratory), Fudan University, Shanghai 200433, China bDepartment of Electronic Engineering, The Chinese University of Hong Kong, Shatin, Hong Kong, China cInstitute of Optoelectronics, Harbin Institute of Technology, Harbin 15001, China
Microstructures develop spontaneously on silicon surface under the cumulative short laser pulses irradiation in different ambient atmospheres. The experimental results suggest that the ambient atmosph
来源： cnki会议 评论
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