Silicon micro-structuring using ultra-short laser pulses
Silicon micro-structuring using ultra-short laser pulses
作 者：Jingtao Zhua, Wen Lib, Ming Zhaoa, Gang Yina, Xiao Chena, Deying Chenc and Li Zhaoa* aSurface Physics Laboratory (National Key Laboratory), Fudan University, Shanghai 200433, China bDepartment of Electronic Engineering, The Chinese University of Hong Kong, Shatin, Hong Kong, China cInstitute of Optoelectronics, Harbin Institute of Technology, Harbin 15001, China
会议名称：《Photonics Asia 2004;Optics and Lasers》
会议日期：2004年
学科分类：080901[工学-物理电子学] 0809[工学-电子科学与技术（可授工学、理学学位）] 08[工学] 080401[工学-精密仪器及机械] 0804[工学-仪器科学与技术] 0803[工学-光学工程]
关 键 词：ultra-short laser pulse laser material processing surface modification of solid optical absorption
摘 要：Microstructures develop spontaneously on silicon surface under the cumulative short laser pulses irradiation in different ambient atmospheres. The experimental results suggest that the ambient atmosph
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