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2D DC subnormal glow discharge in Argon

Plasma Science and Technology 2010年第1期12卷 59-66页

作者： A.BOUCHIKHI A.HAMID University of Saida Faculty of Sciences and Technology Department of Electrical Engineering University of Sciences and Technology of Oran

A two-dimensional time-dependent fluid model was developed and used to describe a DC subnormal glow discharge in argon with Cartesian geometry. This configuration allows us to take into account the transverse expansion of the discharge. A hydrodynamic fluid model used in this paper is based on the moments of the Boltzmann transport equation. The resultant set of governing equations consists of continuity equations （fluxes and densities） for electrons and ions, an energy equation for electrons, and Poisson＇s equation. Simulation results are presented for the densities of charged particles, the electric voltage, the electric field, and the electron temperature of the discharge. The results were compared with those obtained in the literature.

关键词： subnormal glow discharge Boltzmann equation electron temperature Poisson's equation

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