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Acousto-optic scanning spatial-switching multiphoton lithography

International Journal of Extreme Manufacturing 2023年第3期5卷 597-606页

作者： Binzhang Jiao Fayu Chen Yuncheng Liu Xuhao Fan Shaoqun Zeng Qi Dong Leimin Deng Hui Gao Wei Xiong Wuhan National Laboratory for Optoelectronics and School of Optical and Electronic Information Huazhong University of Science and TechnologyWuhanHubei 430074People’s Republic of China Optics Valley Laboratory WuhanHubei430074People’s Republic of China

Nano-3D printing has obtained widespread attention owing to its capacity to manufacture end-use components with nano-scale features in recent *** lithography(MPL)is one of the most promising 3D nanomanufacturing technologies,which has been widely used in manufacturing micro-optics,photonic crystals,microfluidics,meta-surface,and mechanical *** of tremendous potential of MPL in laboratorial and industrial applications,simultaneous achievement of high throughput,high accuracy,high design freedom,and a broad range of material structuring capabilities remains a long-pending *** address the issue,we propose an acousto-optic scanning with spatial-switching multispots(AOSS)***-free acousto-optic scanning and nonlinear swept techniques have been developed for achieving ultrahigh-speed and aberration-free ***,a spatial optical switch concept has been implemented to significantly boost the lithography throughput while maintaining high resolution and high design *** eight-foci AOSS system has demonstrated a record-high 3D printing rate of 7.6×10^(7)voxel s^(-1),which is nearly one order of magnitude higher than earlier scanning MPL,exhibiting its promise for future scalable 3D nanomanufacturing.

关键词： 3D nano-printing acousto-optic scanning aberration-free wavefront spatial-switching

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