检索结果-南通市图书馆

silicon waveguide cantilever displacement sensor for potential application for on-chip high speed AFM

Frontiers of Optoelectronics 2018年第1期11卷 53-59页

作者： Peng WANG Aron MICHAEL Chee Yee KWOK School of Electrical Engineering and Telecommunications University of New South Wales Kensington NSW 2052 Australia

This paper reviews an initial achievement of our group toward the development of on-chip parallel high-speed atomic force microscopy（HS-AFM）.A novel AFM approach based on silicon waveguide cantilever displacement sensor is *** displacement sensing approach uniquely allows the use of nano-scale wide cantilever that has a high resonance frequency and low spring constant desired for on-chip parallel *** approach consists of low loss silicon waveguide with nano-gap,highly efficient misalignment tolerant coupler,novel high aspect ratio（HAR）sharp nano-tips that can be integrated with nano-scale wide cantilevers and electrostatically driven nano-cantilever *** simulation results show that the displacement sensor with optical power responsivity of 0.31%/nm and AFM cantilever with resonance frequency of 5.4 MHz and spring constant of 0.21 N/m are achievable with the proposed *** developed silicon waveguide fabrication method enables silicon waveguide with 6 and 7.5 dB/cm transmission loss for TE and TM modes,respectively,and formation of 13 nm wide nano-gaps between silicon *** coupler demonstrates misalignment tolerance of ±1.8 μm for 5μm spot size lensed fiber and coupling loss of 2.12 dB/facet for standard cleaved single mode fiber without compromising other *** nano-tips with apex radius as small as 2.5 nm and aspect ratio of more than 50 has been enabled by the development of novel HAR nanotip fabrication *** of the HAR tips onto an array of 460 nm wide cantilever beam has also been demonstrated.

关键词： atomic force microscopy (AFM) siliconwaveguide silicon coupler high aspect ratio (HAR) nanotips

来源：

维普期刊数据库评论

在线全文

维普期刊数据库

学校读者我要写书评

暂无评论

欢迎您,

建议与咨询留下您的常用邮箱和电话号码，以便我们向您反馈解决方案和替代方法

时间限定

文献类型

馆藏选择

核心期刊

语言

文献类型

帮助

文字说明：

检索规则说明：

检索范例：

分类表

所选分类

限定检索结果

文献类型

馆藏范围

日期分布

学科分类号

主题

机构

作者

语言

在线全文

请选择保存的检索档案：

请选择收藏分类：

通借通还

欢迎您,

建议与咨询 留下您的常用邮箱和电话号码，以便我们向您反馈解决方案和替代方法

时间限定

文献类型

馆藏选择

核心期刊

语言

文献类型

帮助

文字说明：

检索规则说明：

检索范例：

分类表

所选分类

限定检索结果

文献类型

馆藏范围

日期分布

学科分类号

主题

机构

作者

语言

在线全文

请选择保存的检索档案： 新增检索档案 确定 取消

请选择收藏分类： 新增自定义分类 确定 取消

通借通还

建议与咨询留下您的常用邮箱和电话号码，以便我们向您反馈解决方案和替代方法

请选择保存的检索档案：

请选择收藏分类：