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    • 2 篇 化学

主题

  • 4 篇 qplus传感器
  • 2 篇 非接触原子力显微...
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  • 1 篇 电子结构
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  • 1 篇 化学识别
  • 1 篇 高分辨成像
  • 1 篇 石英单晶
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机构

  • 2 篇 中国科学院大学
  • 1 篇 北京大学
  • 1 篇 苏州大学
  • 1 篇 中国科学院纳米标...
  • 1 篇 中国科学院微电子...
  • 1 篇 国家纳米科学中心
  • 1 篇 北京市微电子制备...
  • 1 篇 集成电路测试技术...

作者

  • 2 篇 裘晓辉
  • 1 篇 王琛
  • 1 篇 张慧
  • 1 篇 马泓冰
  • 1 篇 仉君
  • 1 篇 陈鹏程
  • 1 篇 夏洋
  • 1 篇 查泽奇
  • 1 篇 刘梦溪
  • 1 篇 袁秉凯
  • 1 篇 张海明
  • 1 篇 冷兴龙
  • 1 篇 张凌云
  • 1 篇 张明烨
  • 1 篇 刘涛
  • 1 篇 程志海
  • 1 篇 金珍
  • 1 篇 迟力峰
  • 1 篇 李世超
  • 1 篇 李磊

语言

  • 4 篇 中文
检索条件"主题词=qPlus传感器"
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qPlus传感器工艺误差影响的仿真分析
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传感器与微系统 2022年 第10期41卷 5-9页
作者： 李磊 张明烨 冷兴龙 张凌云 夏洋 刘涛 中国科学院大学 北京100049 中国科学院微电子研究所 北京100029 北京市微电子制备仪器设备工程技术研究中心 北京100176 集成电路测试技术北京市重点实验室 北京100084
为了探究微纳加工中的工艺误差对qPlus传感器性能指标的影响,采用基于COMSOL的多物理场有限元数值分析方法建立了包含工艺误差的qPlus传感器仿真模型,评估了湿法刻蚀后侧壁产生的晶棱、双面光刻对准偏差等典型工艺误差对传感器本征频率... 详细信息
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非接触式原子力显微镜在分子几何结构解析中的应用进展
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化学通报 2023年 第7期86卷 769-774页
作者： 金珍 张慧 马泓冰 张海明 迟力峰 苏州大学分析测试中心 苏州215123 苏州大学功能纳米与软物质研究院 苏州215123
具有化学键分辨的非接触式原子力显微(nc-AFM)表征展现出了优异的分子结构解析能力,是近十年来显微表征领域里的代表性进展,成为表面分子相关研究的重要工具。本文首先介绍了化学键分辨的非接触式原子力显微镜的核心部件:qPlus传感器,... 详细信息
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qplus型非接触原子力显微技术进展及前沿应用
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物理化学学报 2017年 第1期33卷 183-197页
作者： 刘梦溪 李世超 查泽奇 裘晓辉 中国科学院纳米标准与检测重点实验室 中国科学院纳米科学卓越创新中心国家纳米科学中心北京100190 中国科学院大学 北京100049
原子力显微镜(AFM)通过探测针尖与样品之间的相互作用力获得样品表面的结构信息。基于qPlus传感器的非接触原子力显微镜(NC-AFM)在传统AFM的基础上进一步提升了空间分辨率,为研究表面物理和化学过程提供了一种新的成像和谱学研究技术。... 详细信息
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原子分辨显微分析技术研究进展
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物理化学学报 2013年 第7期29卷 1370-1384页
作者： 袁秉凯 陈鹏程 仉君 程志海 裘晓辉 王琛 国家纳米科学中心 北京100190 北京大学前沿交叉学科研究院 北京100871
非接触原子力显微技术(NC-AFM)近年来发展迅速.NC-AFM对单个分子的成像和谱学实现了原子分辨和单个化学键分辨.NC-AFM自身功能的拓展及其与不同探针技术的联用将为材料、物理、化学和生命科学有关的研究提供崭新的思路.本文首先介绍NC-... 详细信息
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