检索结果-南通市图书馆

New Laser Interferometer with OPD Multiplication for Nanometer Measurement

Chinese Journal of Lasers 1999年第5期8卷 3-5页

作者： ZHAO Meirong QU Xinghua WANG Hailong LU Boyin(State Key Laboratory of Precision Measuring Technology and Instruments,Tianjin University, Tianjin 300072, China) 天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室天津

By using coupled differential interferometry a new laser displacement measurement interferometer with nanometric accuracy has been developed The resolution and the stability of the interferometer are improved by multiplicating the optical path difference (OPD). The new interferometer is simple in concept, symmetric in optical paths, without optical deadpath, easy to set up and align. λ/1600 resolution and nanometric accuracy are achieved within the measurement range of 10mm.

关键词： nanometer nanometroolgy laser interferometer displacement measurement differential interfrometry OPD multiplication

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