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  • 1 篇 systematic
  • 1 篇 accuracy
  • 1 篇 and
  • 1 篇 nano-precision
  • 1 篇 structural
  • 1 篇 parameters

机构

  • 1 篇 state key labora...

作者

  • 1 篇 xin luo
  • 1 篇 lizhan zeng
  • 1 篇 wei jiang
  • 1 篇 xuedong chen
  • 1 篇 chengyuan liang
  • 1 篇 fang yuan

语言

  • 1 篇 英文
检索条件"主题词=nano-precision"
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Comprehensive analysis of the influence of structural and dynamic parameters on the accuracy of nano-precision positioning stages
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Frontiers of Mechanical Engineering 2019年 第3期14卷 255-272页
作者： Chengyuan LIANG Fang YUAN Xuedong CHEN Wei JIANG Lizhan ZENG Xin LUO State Key Laboratory of Digital Manufacturing Equipment and Technology Huazhong University of Science and Technology Wuhan 430074 China
nano-precision positioning stages are characterized by rigid-flexible coupling systems. The complex dynamic characteristics of mechanical structure of a stage, which are determined by structural and dynamic parameters... 详细信息
来源： 维普期刊数据库 维普期刊数据库 评论
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