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An apparatus for measuring mechanical properties of microstructures in tensile mode

Science China(Physics,Mechanics & Astronomy) 2004年第Z1期47卷 127-132页

作者： WU Hao MENG Yonggang SU Caijun WEN Shizhu State Key Laboratory of Tribology Tsinghua University Beijing 100084 China State Key Laboratory of Tribology Tsinghua University Beijing 100084 China State Key Laboratory of Tribology Tsinghua University Beijing 100084 China State Key Laboratory of Tribology Tsinghua University Beijing 100084 China

An apparatus for measuring mechanical properties of microstructures in tensile mode is described. The apparatus consists of 4 functional parts: piezoelectric actuator, capacitive displacement sensor, specimen gripping mechanism and optical microscope. The configurations and specifications of these parts are elucidated in *** used for the tensile mechanical testing are fabricated with the photolithography process. By using this apparatus, the fatigue property of polysilicon films has been measured successfully.

关键词： MEMS, tensile test, microstructure, mechanical property, piezoelectric drive.

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Structural and mechanical properties of nano-crystal TiN coatings

引用

Science China(Physics,Mechanics & Astronomy) 2004年第Z1期47卷 1-7页

作者： ZHANG Chenhui PAN Guoshun LUO Jianbin LI Wenzhi CHEN Darong State Key Laboratory of Tribology Tsinghua University Beijing 100084 China State Key Laboratory of Tribology Tsinghua University Beijing 100084 China State Key Laboratory of Tribology Tsinghua University Beijing 100084 China State Key Laboratory of Tribology Tsinghua University Beijing 100084 China State Key Laboratory of Tribology Tsinghua University Beijing 100084 China

The structural and mechanical properties of TiN coatings prepared by ion beam assisted deposition (IBAD) were studied. The coatings have a polycrystal structure with grain size of ～10 nm or less. The hardness of the coatings increases with increasing grain size of TiN crystallites. The coating with grain size of 10.3 nm even has a superhardness of 44.7GPa. The relationship between the hardness and the grain size in the nano-crystalline coatings was discussed on the basis of grain-boundary triple junctions.

关键词： TiN, nano-crystal, microstructure, hardness, grain-boundary triple junctions.

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