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A micromechanical bridge-shaped voltage-controlled oscillator
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Science China(Technological Sciences) 2004年 第1期47卷 26-32页
作者： HAN Jianqiang ZHU Changchun ZHAO Hongpo LIU Junhua SHAO Jun Xi'an Jiaotong University Xi'an 710049 China Xi'an Jiaotong University Xi'an 710049 China Xi'an Jiaotong University Xi'an 710049 China Xi'an Jiaotong University Xi'an 710049 China Xi'an Jiaotong University Xi'an 710049 China
A novel micromechanical bridge-shaped voltage-controlled oscillator with high Q value was fabricated. The core of this kind of oscillators is an electrothermally excited and piezoresistively detected micromechanical b...
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