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The Nonlinear Dynamic Behaviors of Electrostatic micro-tweezers

Communications in Computational Physics 2018年第6期24卷 253-267页

作者： Bo-Wun Huang Chao-Jung Chen Jao-Hwa Kuang Department of Mechanical Engineering Cheng Shiu UniversityKaohsiung83347Taiwan Quanta Computer Inc. Taiwa Department of Mechanical and Electro-Mechanical Engineering National Sun Yat-Sen UniversityKaohsiung80424Taiwan

This work addresses the nonlinear dynamic behavior of different electrostaticmicro-tweezers,amicro electric *** actuator,a cantilever beamelectrostatic micro-tweezers,has been extensively used in micro-electro-mechanical systems(MEMS).The importance of micro electric actuators manufactured is higher than the other part of MEMS since it is the power source of the entire micro-electro-mechanical *** actual operation,the instability and bad dynamic characteristics of the electric actuators will cause larger displacement mobility error,such as transport behavior and response procedures failure,etc.,and even damage the micro-electro-mechanical *** improve the actuator dynamic displacement accuracy,the dynamic behavior in the electric actuator system must be studied,especially for nonlinear dynamic behavior of *** this work,the differential quadrature method(DQM)was employed to solve the problem of nonlinearity in the equation of *** results reveal that the proposed DQM model can be used to simulate the nonlinear behavior of the micro-tweezers efficiently micro-tweezers of various shapes were studied to examine the feasibility of applying the DQMin analyzing their nonlinear *** simulated results agree very closely with the calculated and experimental data in the literature.

关键词： microelectromechanical pull-in Differential Quadrature Method(DQM) MEMS electrostatic micro-tweezers

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