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machine allocation in Semiconductor Wafer Fabrication Systems:A Simulation-Based Approach

Journal of Systems Science and Systems Engineering 2023年第3期32卷 372-390页

作者： Yanfeng Wu Sihua Chen School of Finance Jjiangxi University of Finance and EconomicsNanchang 330013China School of Information Management Jiangxi University of Finance and EconomicsNanchang 330032China

The problem of maximizing the throughput of Semiconductor Wafer Fabrication Systems is *** model the fabrication systems as a Stochastic Timed Automata and design a discrete-event simulation *** simulation scheme is explicit,fast and achieves high fidelity which captures the feature of reentrant process flow and is flexible to accommodate diversified wafer lot scheduling policies.A series of marginal machine allocation Algorithms are proposed to sequentially allocate *** experiments suggest the designed methods are efficient to find good allocation solutions.

关键词： Semiconductor wafer fabrication system machine allocation discrete-event simulation marginal machine allocation

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