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  • 1 篇 h-plasma cleanin...
  • 1 篇 lattice damage
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作者

  • 1 篇 jian chen zhenji...
  • 1 篇 chenguang gong+
  • 1 篇 fuchu shen
  • 1 篇 biguang ye

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检索条件"主题词=lattice damage"
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H-plasma In-situ Cleaning and lattice damage Elimination
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Journal of Materials Science & Technology 1993年 第2期9卷 133-135页
作者： Chenguang GONG+ Fuchu SHEN Biguang YE Jian CHEN, Zhenjiang University, Hangzhou, 310027, China
This article discusses the silicon lattice damage induced during H-plasma in-situ cleaning and finds that the substrate temperature, plasma power, processing time, all affect the extent of the distortion of the surfac... 详细信息
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