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PERFORMANCE AND MICROSTRUCTURE OF SUPERHARD Si_3N_4 FILM BY HIGH POWER CO_2 laser CVD
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Acta Metallurgica Sinica(English Letters) 1993年 第7期6卷 64-68页
作者： FENG Zhongchao GUO Liang LIANG Yong HAN Jian HOU Wanliang NING Xiaoguang Institute of Metal Research,Academia Sinica,Shenyang,China Associate Professor,Institute of Metal Research,Academia Sinica,Shenyang 110015,China
A superhard α-Si_3N_4 film,deposited on metal substrate,was produced by laser chemical vapor deposition adopting a kW-level high power CO_2 *** films are composed of fine Si_3N_4 *** join the metal substrate in stron... 详细信息
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