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Continuous compositional spread investigation of SiC-based thin films prepared by MW-ECR plasma enhanced magnetron co-sputtering
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Plasma Science and Technology 2020年 第3期22卷 66-70页
作者： 王行行 张丽艳 陆文琪 徐军 Key Laboratory of Materials Modification by Laser Ion and Electron BeamsMinistry of EducationSchool of PhysicsDalian University of TechnologyDalian 116024People’s Republic of China School of Chemical Engineering Dalian University of TechnologyDalian 116024People’s Republic of China
A kind of combinatorial material methodology,also known as continuous compositional spread method,was employed to investigate the relationship between the optical band gap and composition of SiC thin films.A wide rang... 详细信息
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