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Electromagnetic modeling of interference,confocal,and focus variation microscopy

Advanced Photonics Nexus 2024年第1期3卷 104-116页

作者： Tobias Pahl Felix Rosenthal Johannes Breidenbach Corvin Danzglock Sebastian Hagemeier Xin Xu Marco Künne Peter Lehmann University of Kassel Faculty of Electrical Engineering and Computer ScienceMeasurement Technology GroupKasselGermany

We present a unified electromagnetic modeling of coherence scanning interferometry,confocal microscopy,and focus variation microscopy as the most common techniques for surface topography inspection with micro-and nanometer *** model aims at analyzing the instrument response and predicting systematic *** the main focus lies on the modeling of the microscopes,the light–surface interaction is considered,based on the Kirchhoff approximation extended to vectorial imaging ***,it can be replaced by rigorous methods without changing the microscope *** demonstrate that all of the measuring instruments mentioned above can be modeled using the same theory with some adaption to the respective *** validation,simulated results are confirmed by comparison with measurement results.

关键词： interference microscopy coherence scanning interferometry confocal microscopy focus variation microscopy electromagnetic modeling surface topography measurement

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